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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.25 no.11, 2015년, pp.616 - 621
박종인 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 황상혁 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 조태훈 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 윤명수 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 곽형신 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 진기남 ((주)다오닉스 연구소) , 전부일 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 최은하 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 권기청 (광운대학교 전자바이오물리학과)
Atmospheric pressure plasma is used in the biological and medical fields. Miniaturization and safety are important in the application of apply atmospheric plasma to bio devices. In this study, we made a small, pocket-sized inverter for the discharge of atmospheric plasma. We used pulse power to cont...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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산업용 플라즈마는 어디에서 사용되고 있는가? | 산업용 플라즈마는 반도체에서 플라즈마 식각(Plasma Etch) 및 증착(PECVD : Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition),1) 금속이나 고분자의 표면처리, 신물질의 합성 등에 활발히 이용되고 있으며, 공정의 미세화, 저온화의 필요성 때문에 플라즈마 공정이 종래의 공정을 대체하고 있다.2) 최근에는 생태 적용과 바이오 분야의 응용 가능성으로 관련 연구가 확대되고 있다. | |
대기압 플라즈마 소스의 방전 형식은 어떻게 되는가? | 대기압 플라즈마 소스의 방전 형식은 다음과 같다. 펄스전원 공급 장치는 입력전압 DC 5 V의 고정 전원을 사용 하였으며, 출력 단은 AC-AC converter를 사용하여 부하단의 플라즈마 소스에 전원이 인가된다. 펄스 공급 장치의 출력조건은 전압 1~2 kV, 주파수 80 kHz, 듀티비는 20 %, 40 %, 60 %로 조절이 가능하다. | |
바이오 분야에서 플라즈마를 활용할 때 주요한 이슈는 무엇인가? | 2) 최근에는 생태 적용과 바이오 분야의 응용 가능성으로 관련 연구가 확대되고 있다.3,4) 특히 플라즈마를 이용한 치아 미백과 병원균 파괴 등의 바이오 연구에 활용되고 있으며, 이러한 바이오 분야의 활용에서 주요한 이슈들은 장치의 소형화 및 제어의 용이성, 인체에 대한 안전성을 확보하는 것이다.5) 플라즈마를 인체에 직접적으로 적용하기 위해서는 고전압의 전극이 인체에 직접적으로 접촉되지 않도록 해야 하며, 전극에 인가되는 구동전압 및 전류를 제어해야 한다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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