최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.33 no.1, 2016년, pp.11 - 16
최대희 (과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스 전공) , 전은채 (과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스 전공) , 윤민아 (과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스 전공) , 김광섭 (과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스 전공) , 제태진 (과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스 전공) , 정준호 (과학기술연합대학원대학교 나노메카트로닉스 전공)
Lithography techniques are generally used to manufacture nano-patterns on silicon, however, it is difficult to make a V-shaped pattern using these techniques. Although silicon is a brittle material, it can be treated as a ductile material if mechanically machined at extremely low force scale. The ma...
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
---|---|---|
단결정 실리콘은 주로 어디에 사용되는가? | 단결정 실리콘은 반도체 산업과 나노포토닉스산업에서 많이 사용되는 소재이다. 기존에 단결정 실리콘에 패턴을 새기기 위한 방법으로는 리소그래피 공정이 많이 사용되고 있다. | |
기존에 단결정 실리콘에 패턴을 새기기 위한 방법은? | 단결정 실리콘은 반도체 산업과 나노포토닉스산업에서 많이 사용되는 소재이다. 기존에 단결정 실리콘에 패턴을 새기기 위한 방법으로는 리소그래피 공정이 많이 사용되고 있다. 기존의 방법으로는 직사각형 또는 U자 형태의 패턴 단면을 얻기가 쉬운 반면에 날카롭고 다양한 각도의 V자 형태의 패턴을 만들기 위해서는 복잡한 공정이 요구된다. | |
리소그래피 공정의 장단점은 무엇인가? | 기존에 단결정 실리콘에 패턴을 새기기 위한 방법으로는 리소그래피 공정이 많이 사용되고 있다. 기존의 방법으로는 직사각형 또는 U자 형태의 패턴 단면을 얻기가 쉬운 반면에 날카롭고 다양한 각도의 V자 형태의 패턴을 만들기 위해서는 복잡한 공정이 요구된다.1-5 만약 기계적 가공법을 이용해 단결정 실리콘을 가공한다면 공구모양에 따라서 날카로운 V형태의 패턴을 쉽게 만들 수 있다. |
Zhang, W. and Chou, S. Y., "Fabrication of 60-nm Transistors on 4-in. Wafer Using Nanoimprint at All Lithography Levels," Applied Physics Letters, Vol. 83, No. 8, pp. 1632-1634, 2003.
Bogaerts, W., Wiaux, V., Taillaert, D., Beckx, S., Luyssaert, B., et al., "Fabrication of Photonic Crystals in Silicon-on-Insulator Using 248-nm Deep UV Lithography," IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, Vol. 8, No. 4, pp. 928-934, 2002.
Revzin, A., Russel, R. J., Yadavalli, V. K., Koh, W. G., Deister, C., et al., "Fabrication of Poly(ethylene glycol) Hydrogel Microstructures Using Photolithography," Langmuir, Vol. 17, pp. 5440-5447, 2001.
Choi, Y. K., Zhu, J., Grunes, J., Bokor, J., and Somorjai, G. A., "Fabrication of Sub-10-nm Silicon Nanowire Arrays by Size Reduction Lithography," The Journal of Physical Chemistry, Vol. 107, pp. 3340-3343, 2003.
Ahn, S. W., Lee, K. D., Kim, J. S., Kim, S. H., Park, J. D., et al., "Fabrication of a 50nm Half-Pitch Wire Grid Polarizer Using Nanoimprint Lithography," Nanotechnology, Vol. 16, No. 9, pp. 1874-1877, 2005.
Hung, N. P. and Fu, Y. Q., "Effect of Crystalline Orientation in the Ductile-Regime Machining of Silicon," The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Vol. 16, No. 12, pp. 871-876, 2000.
Leung, T. P., Lee, W. B., and Lu, X. M., "Diamond Turning of Silicon Substrates in Ductile-Regime," Journal of Materials Processing Technology, Vol. 73, No. 1, pp. 42-48, 1998.
Tanaka, H., Shimada, S., and Anthony, L., "Requirements for Ductile-Mode Machining Based on Deformation Analysis of Mono-Crystalline Silicon by Molecular Dynamics Simulation," CIRP Annals-Manufacturing Technology, Vol. 56, No. 1, pp. 53-56, 2007.
Fang, F. Z. and Venkatesh, V. C., "Diamond Cutting of Silicon with Nanometric Finish," CIRP Annals-Manufacturing Technology, Vol. 47, No. 1, pp. 45-49, 1998.
Cheng, J. and Gong, Y. D., "Experimental Study of Surface Generation and Force Modeling in Micro-Grinding of Single Crystal Silicon Considering Crystallographic Effects," International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 77, pp. 1-15, 2014.
Liu, K., Li, X. P., Rahman, M., Neo, K. S., and Liu, X. D., "A Study of the Effect of Tool Cutting Edge Radius on Ductile Cutting of Silicon Wafers," The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Vol. 32, No. 7-8, pp. 631-637, 2006.
Chao, C. L., Ma, K. J., Liu, D. S., Bai, C. Y., and Shy, T. L., "Ductile Behaviour in Single-Point Diamond-Turning of Single-Crystal Silicon," Journal of Materials Processing Technology, Vol. 127, No. 2, pp. 187-190, 2002.
Schroeder, P. T., "Widening Interest in Twist Drills," Modern Mechanical Shop, Vol. 71, No. 4, pp. 106-113, 1998.
Zhang, S. J., To, S., and Zhu, Z. W., "A Review of Surface Roughness Generation in Ultra-Precision Machining," International Journal of Machine Tools and Manufacture, Vol. 91, pp. 76-95, 2015.
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.