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제안 방법
- 525 µm의 두께를 가지는 실리콘 웨이퍼를 펠리클 지지대로 사용하여 실험에 사용되는 standoff거리를 조절하였다.
- 5 nm 파장의 광원을 이용한 actinic 검사 장비로서, 기존 다른 파장의 검사 장비를 이용해서는 정확히 분석할 수 없는 정보들을 획득할 수 있다[8]. 결상 광학계(objective lens) 없이 물체에서 회절된 빛을 포집하여 그로부터 본래의 이미지를 재구성하는 기술인 결맞음성 회절 이미징(Coherent Diffractive Imaging, CDI) 기술에 기반한 마스크 검사 기술로 해당 장비를 통해 EUV 펠리클을 장착한 EUV 마스크의 이미지 전사 특성을 평가 할 수 있다. Fig.
- 본 연구에서는 EUV 마스크의 이미지 전사 특성에서 중요한 요소인 NILS, image contrast, H-V CD bias 모두 standoff 거리에 영향을 받지 않고, 일정하게 나타나는 것을 확인하였다. 이를 최종적으로 확인해보기 위하여 2D 에이리얼 이미지를 복원하였다. Fig.
- 위상복원 알고리즘을 이용하여 포집된 회절 패턴으로부터 위상 정보를 복원하고 본래의 이미지를 재구성 하는 것이 CSM의 소프트웨어이며, 실험에는 error reduction algorithm (ERA)와 hybrid input output (HIO) 알고리즘을 사용하였다[9]. 펠리클은 1.05, 2.10, 3.15 mm의 standoff 거리에 부착하여 회절패턴을 측정하였다. 본 연구에 사용한 펠리클 지지대의 구조는 Fig.
- 해당 실험에서는 EUV 노광기의 conventional 조명계 조건인 개구수(numerical aperture, NA) 0.33, partial coherence (σ) 0.9 를 적용하여 이미지 전사 특성을 평가하였다[12].
- 해당 연구에서는 EUV 마스크 검사장치로 연구중인 결맞음성 회절 현미경(Coherent Scattering Microscopy, CSM) 을 이용하여 EUV 펠리클의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가를 실시하였다. 본 연구에 사용한 CSM 은 EUV 노광기와 동일한 13.
- 해당 연구에서는 펠리클을 적용한 EUV 마스크의 이미지 전사특성을 standoff 거리에 따라 분석하였다. EUV 펠리클은 EUVL 의 성공적인 양산 적용을 위해 반드시 개발되어야 할 EUV 부품 소재로 활발히 연구가 진행되고 있는 분야로, 그 개발과 함께 펠리클의 광학적 특성에 대한 연구 또한 동시에 이루어져야 한다.
대상 데이터
- 해당 연구에서는 EUV 마스크 검사장치로 연구중인 결맞음성 회절 현미경(Coherent Scattering Microscopy, CSM) 을 이용하여 EUV 펠리클의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가를 실시하였다. 본 연구에 사용한 CSM 은 EUV 노광기와 동일한 13.5 nm 파장의 광원을 이용한 actinic 검사 장비로서, 기존 다른 파장의 검사 장비를 이용해서는 정확히 분석할 수 없는 정보들을 획득할 수 있다[8]. 결상 광학계(objective lens) 없이 물체에서 회절된 빛을 포집하여 그로부터 본래의 이미지를 재구성하는 기술인 결맞음성 회절 이미징(Coherent Diffractive Imaging, CDI) 기술에 기반한 마스크 검사 기술로 해당 장비를 통해 EUV 펠리클을 장착한 EUV 마스크의 이미지 전사 특성을 평가 할 수 있다.
이론/모형
- 위상복원 알고리즘을 이용하여 포집된 회절 패턴으로부터 위상 정보를 복원하고 본래의 이미지를 재구성 하는 것이 CSM의 소프트웨어이며, 실험에는 error reduction algorithm (ERA)와 hybrid input output (HIO) 알고리즘을 사용하였다[9]. 펠리클은 1.
- 15 mm 로 변화시키며 마스크로부터 획득한 회절패턴은 위상 정보가 소실된 세기 정보로만 표현된 역격자 공간 이미지이다. 해당 이미지로부터 실공간 이미지를 구현하기 위해서 ERA 와 HIO 알고리즘을 사용하였으며, 그 원리는 푸리에 변환과 역푸리에 변환의 반복적 연산에 근간을 두고 있다. 반복적 수학 연산과 함께 정확한 위상을 복원하기 위한 제한조건을 지정하여 실제 위상정보에 가까운 값을 복원 할 수 있다[11].
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