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PZT 나노 스테이지를 이용한 광센서의 위치결정
A Position Decision of Photo Sensor using a PZT Nano Positioning Stage 원문보기

제어·로봇·시스템학회 논문지 = Journal of institute of control, robotics and systems, v.22 no.4, 2016년, pp.271 - 275  

차영엽 (원광대학교 기계자동차공학부)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

For machining systems like the motor driven linear stage which have high precision positioning with a long stroke, it is necessary to examine the repeatability of the reference position decision. Though piezo (PZT) actuator driven linear stages have high precision feed drivers and a short stroke, th...

주제어

#photomicrosensor   #position decision  

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 논문에서는 위치제어 시스템으로 사용되는 볼나사 구동 스테이지와 PZT 스테이지의 리미트(limit) 센서와 홈 (home) 센서로 많이 사용되는 광센서의 위치 정밀도에 대한 것으로, 나노미터 분해능을 가진 PZT 스테이지와 커패시티브 센서를 이용한 결과를 보여준다.
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참고문헌 (11)

  1. J. S. Chen, K. C. Chen, Z. C. Lai, and Y. K, Huang, "Friction characterization and compensation of a linear motor rolling guide stage," International Journal of Machine Tools and Manufacture, vol. 43, no. 9, pp. 905-915, Jul. 2003. 

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  2. C. Hsieh and Y. C. Pan, "Dynamic behavior and modeling of the pre-sliding static friction," Wear, vol. 242, no. 1-2, pp. 1-17, Jul. 2000. 

    상세보기 crossref

  3. Omron Korea Homepage, http://www.ia.omron.co.kr 

  4. H. B. Lim, "Sensor technology," The Electric Parts & Components Monthly, no. 8, pp. 94-100, 2003. 

  5. S. H. Seo, "Photo sensor technology," The Electric Parts & Components Monthly, no. 12, pp. 12-24, 1995. 

  6. F. M. Chen, H. X. Yang, and Z. M. Li, "Influences of effective width of photo-electric sensor on acceleration measurement," Proc. of 2010 Asia-Pacific Conference on Power Electronics and Design, vol. 1, pp. 72-75, 2010. 

  7. S. H. Seo, "Material of the semiconductor photo-sensor," The Electric Parts & Components Monthly, no. 6, pp. 53-59, 2001. 

  8. Physik Instrumente GmbH & Co. Homepage, http://www.pi.ws 

  9. Omron Homepage, http://www.omron.com 

  10. Y. Y. Cha, "A position decision experiment in ball-screw driven linear stage using a photomicrosensor," Journal of Institute of Control, Robotics and Systems (in Korean), vol. 20. no. 4, pp. 463-467, 2014. 

    원문보기 상세보기 crossref

  11. Y. Y. Cha, "The position decision of EE-SX671 photo sensor by using a PZT stage," Proc. of 2015 ICROS Jeonbuk - Jeju Regional Conference (in Korean), no. 1, pp. 64-68, 2015. 

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