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NTIS 바로가기전기학회논문지 = The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers, v.65 no.7, 2016년, pp.1211 - 1217
차주홍 (Dept. of Electrical and Computer Engineering, Pusan National University) , 이호준 (Dept. of Electrical and Computer Engineering, Pusan National University)
Discharge characteristics of inductively coupled plasma were investigated by using electrostatic probe and fluid simulation. The Inductively Coupled Plasma source driven by 13.56 Mhz was prepared. The signal attenuation ratios of the electrostatic probe at first and second harmonic frequency was tun...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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유도결합 플라즈마 발생 장치의 장점은? | 유도결합 플라즈마 발생 장치는 코일 형태의 안테나를 이용하여 RF(Radio Frequency)파워를 인가하는 비교적 간단한 구조의플라즈마 소스로서 동작압력은 수 mTorr에서 수 Torr 영역에서 이루어지는 장비이다.[1] 유도결합 플라즈마 발생 장치는 비교적 높은 전자 밀도와 저온 공정이 가능한 장점을 가지기 때문에 반도체 공정 중 건식 식각 공정에 주로 사용되고 있으며 물리적인 연구에서부터 다양한 산업 분야까지 다양한 분야에 응용되고 있다.[2] 산업 분야에서 사용되는 공정에서는 다양한 화합물 가스를 이용하여 식각 및 증착 공정이 이루어지며, 이때 장비의 기본적인 특성을 비교하고 분석하기 위하여 Ar, He 등과 같은 18족 비활성 기체를 사용하여 장비 특성 분석을 실시한다. | |
유도결합 플라즈마 발생 장치의 기본 특성을 비교하기 위해 어떤 기체가 사용되는가? | [1] 유도결합 플라즈마 발생 장치는 비교적 높은 전자 밀도와 저온 공정이 가능한 장점을 가지기 때문에 반도체 공정 중 건식 식각 공정에 주로 사용되고 있으며 물리적인 연구에서부터 다양한 산업 분야까지 다양한 분야에 응용되고 있다.[2] 산업 분야에서 사용되는 공정에서는 다양한 화합물 가스를 이용하여 식각 및 증착 공정이 이루어지며, 이때 장비의 기본적인 특성을 비교하고 분석하기 위하여 Ar, He 등과 같은 18족 비활성 기체를 사용하여 장비 특성 분석을 실시한다. | |
유도결합 플라즈마 발생 장치란? | 유도결합 플라즈마 발생 장치는 코일 형태의 안테나를 이용하여 RF(Radio Frequency)파워를 인가하는 비교적 간단한 구조의플라즈마 소스로서 동작압력은 수 mTorr에서 수 Torr 영역에서 이루어지는 장비이다.[1] 유도결합 플라즈마 발생 장치는 비교적 높은 전자 밀도와 저온 공정이 가능한 장점을 가지기 때문에 반도체 공정 중 건식 식각 공정에 주로 사용되고 있으며 물리적인 연구에서부터 다양한 산업 분야까지 다양한 분야에 응용되고 있다. |
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