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NTIS 바로가기전기학회논문지 = The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers, v.65 no.8, 2016년, pp.1376 - 1382
차주홍 (Dept. of Electrical and Computer Engineering, Pusan National University) , 이호준 (Dept. of Electrical and Computer Engineering, Pusan National University)
The discharge characteristics of inductively coupled
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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유도결합 플라즈마 발생 장치는 어떻게 전기장을 발생시키는가? | 유도결합 플라즈마 발생 장치는 RF파워를 인가해주는 코일에서 패러데이 법칙으로 유도되는 전기장을 통해 플라즈마를 발생 시키고 유지하는 형태의 플라즈마 소스이다. 코일에 RF 전류를 흘려주면 ∇X# B = μ0# 인 암페어의 법칙에 따라 전류가 흐르는 주위에 시간 적으로 변하는 자기장이 발생되고, 이때 발생된 시변 자기장에 의해서 ∇X# =# 인 패러데이 유도 법칙에 의하여 시간 적으로 변화하는 전기장을 발생시킨다. 이 유도된 전기장에 의하여 전자가 가속되고 가속이 된 전자가 중성 기체 분자들과 충돌함으로서 플라즈마 발생시키는 것을 기본 원리로 하고 있다. | |
탄소 동소체는 어떻게 구분되는가? | 최근 나노과학 기술과 표면 및 계면 기술의 발달로 인하여 탄소 물질을 이용한 신소재 개발 및 표면 처리에 관한 연구가 활발히 진행 되고 있다. 탄소 동소체는 탄소 원자의 결합 구조에 따라 SP2 결합의 흑연(Graphite), SP3 결합의 다이아몬드(Diamond) 및 비결정성 탄소(amorphous carbon)로 분류된다. 비결정성 탄소는 SP3 결합과 SP2 결합이 혼재되어 있는 상태로 SP2 결합과 SP3 결합의 비율에 따라 SP2 결합이 많은 GLC(Graphite Like Carbon)와 SP3 결합이 많은 DLC(Diamond Like Carbon)으로 나누어진다. | |
비결정성 탄소는 어떻게 나누어지는가? | 탄소 동소체는 탄소 원자의 결합 구조에 따라 SP2 결합의 흑연(Graphite), SP3 결합의 다이아몬드(Diamond) 및 비결정성 탄소(amorphous carbon)로 분류된다. 비결정성 탄소는 SP3 결합과 SP2 결합이 혼재되어 있는 상태로 SP2 결합과 SP3 결합의 비율에 따라 SP2 결합이 많은 GLC(Graphite Like Carbon)와 SP3 결합이 많은 DLC(Diamond Like Carbon)으로 나누어진다. 탄소 동소체는 뛰어난 화학적 안전성을 바탕으로 결합구조에 따라 반도체 재료, 생체 재료, 표면 처리, 신소재 개발 등의 다양한 분야에서 응용 되고 있다. |
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