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NTIS 바로가기한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, v.27 no.4, 2016년, pp.143 - 150
조현주 (대덕대학교 총포광학과) , 원준연 ((주)쎄미시스코) , 정영규 ((주)쎄미시스코) , 우봉주 ((주)쎄미시스코) , 윤준호 (인하대학교 물리학과) , 황보창권 (인하대학교 물리학과)
The thickness of each layer in a multilayered system is determined by a Fourier-transform method using spectroscopic reflectance measurements. To verify this method, we first generate theoretical reflectance spectra for three layers, and these are fast-Fourier-transformed using our own Matlab progra...
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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휘어지는 디스플레이 중 OLED는 어떤 방식으로 구현되는가? | 두꺼운 PI 층을 한 번에 형성하면서 발생하는 응력 등의 문제점을 해소하는 방법으로 PI-(얇은 SiO2)-PI와 같은 다층박막 구조로 두꺼운 PI 층을 형성하는 방법도 진행되고 있다. 실제 휘는 OLED는 유리기판 위에 PI-(얇은 SiO2)-PI 구조를 제작하고 그 위에 OLED를 구현하는 TFT(thin film transistor)를 형성한 후, 기판으로 사용한 유리를 제거하는 방식으로 구현된다. | |
단층 박막의 두께를 측정하는 방법에는 어떤 것들이 있는가? | 이러한 박막의 응용에서 박막의 구조를 파악하고 각 층의 두께를 결정하는 것은 매우 중요하며, 이와 관련한 연구가 여러 분야에서 지속되고 있다. 단층 박막의 두께를 측정하는 방법으로는 분광광도계를 이용하는 방법[1], 타원분광계를 사용하는 방법[2], 간섭계를 사용하는 방법[3] 등이 있다. 그러나 최근 박막의 기능이 다양하게 증가하면서 다층박막의 두께를 결정하고자 하는 요구가 점차 증가하고 있다. | |
다층박막의 두께를 측정하는 방법에는 어떤 것들이 있는가? | 그러나 최근 박막의 기능이 다양하게 증가하면서 다층박막의 두께를 결정하고자 하는 요구가 점차 증가하고 있다. 다층박막의 두께를 측정하는 방법은 분광 타원분광계(Spectroscopic Ellipsometer)를 사용하여 측정된 결과를 맞춤하는 방법[4], 분광광도계를 사용하여 측정한 결과를 역설계 (reverse engineering) 기법으로 두께를 추정하는 방법[5], 그리고 백색광 간섭계를 사용하는 방법[6,7] 등이 있다. 김상열[8]은 타원계에서 결맞음 길이보다 두꺼운 막에 덮여있는 박막을 분석하는 연구를 수행하였다. |
J. C. Manifacier, J. Gasiot, and J. P. Fillard, "A simple method for the determination of the optical constant n, k and the thickness of weakly absorbing thin films," J. Phys. E 9, 1002 (1976)
J. Rivory, "Ellipsometric Measurements," in Thin Films for Optical Systems edited by F.R. Flory (Marcel Dekker Inc., 1995) chap.11.
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J. A. Doborowolski, F.C. Ho, and A. Waldorf, "Determination of optical constants of thin film coating material based on inverse synthesis," Appl. Opt. 22, 3192 (1983).
Y. S. Ghim and S.W. Kim, "Thin-film thickness profile and its refractive index measurements by dispersive white-light interferometry," Opt. Express 14, 11885 (2006).
U. Schnell, R. Dandliker, and S. Gray, "Dispersive white-light interferometry for absolute distance measurement with dielectric multilayer system on the target," Opt. Lett. 21, 528 (1996).
E. Hecht, Optics 2nd ed. p363-368 (Addsion-Wesley Publishing Company, Inc. 1987).
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