초록 ▼

본 과제는 최종 연구목인 '실시간 분광결상 타원계측기'의 개발을 위하여 연차별로 다음과 같이 연구를 수행하였다. 총 3차년도에 걸쳐, <1차년도> - 편광변화분석법에 기반한 단파장타원계측기의 광학모듈 회전 메카니즘 제작 - 단층박막의 해석기법 연구 <2차년도> - 타원계측기 시스템 제작 완료, 보정 및 표준 시료 측정 - 다층박막의 해석기법 연구 <3차년도> 편광변화분석법과 분광반사율 측정법을 결합한 분광결상타원계측기의 제작을 위한, - 단축결상 분광기 제작, 분광 타원계측기 제작 - 분광결상타원계측기의 보정법 및 측정 알고리즘 개

본 과제는 최종 연구목인 '실시간 분광결상 타원계측기'의 개발을 위하여 연차별로 다음과 같이 연구를 수행하였다. 총 3차년도에 걸쳐, <1차년도> - 편광변화분석법에 기반한 단파장타원계측기의 광학모듈 회전 메카니즘 제작 - 단층박막의 해석기법 연구 <2차년도> - 타원계측기 시스템 제작 완료, 보정 및 표준 시료 측정 - 다층박막의 해석기법 연구 <3차년도> 편광변화분석법과 분광반사율 측정법을 결합한 분광결상타원계측기의 제작을 위한, - 단축결상 분광기 제작, 분광 타원계측기 제작 - 분광결상타원계측기의 보정법 및 측정 알고리즘 개발 - 나노미터 두께의 박막 해석기법 연구를 체계적으로 수행하였다.

Abstract ▼

<1st year> - optical module rotating mechanism manufacture of single wavelength ellipsometry - research single surface film analysis technique <2nd year> - ellipsometer system manufacture, compensation and certified sample measurement <3re year> - single axis imaging ellipsometer manufacture spectro

<1st year> - optical module rotating mechanism manufacture of single wavelength ellipsometry - research single surface film analysis technique <2nd year> - ellipsometer system manufacture, compensation and certified sample measurement <3re year> - single axis imaging ellipsometer manufacture spectroscopic ellipsometer - compensation and measuring algorism development for spatial imaging ellipsometer -research of ~nm thickness film analysis technique

목차 Contents

• 표지...1
• 목차...2
• I. 연구계획 요약문...4
• 1. 국문요약문...4
• II. 연구결과 요약문...5
• 1. 국문요약문...5
• 2. 영문요약문...6
• III. 연구내용...7
• 1. 서론...7
• 1-1. 연구배경...7
• 1-2. 연구목표...9
• 1-3. 연구범위...9
• 2. 연구내용과 실험결과 및 고찰...12
• 2-1. 단파장 타원계측기...12
• 2-2. 타원계측기의 정밀 입사각 결정 메카니즘...30
• 2-3. 분광결상 타원계측기...50
• 2-4. 박막해석 알고리즘의 개발...86
• 3. 결론...116
• 5. 인용문헌...117