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문제 정의
- 그림 1(a)는 3개의 건을 이용하여 박막을 제작하는 스퍼터링 공정을 보여주며 그림 1(b)는 본 연구에서 제작한 합금 타겟을 이용하여 1개의 건을 이용한 스퍼터링 공정을 보여준다. 복수의 건을 이용한 박막 제작 시에는 박막의 균일한 조직 및 조성을 얻기가 매우 어렵기 때문에 본 연구에서는 단일 타겟을 제작하여 박막을 제작하였다. 본 연구에서 진행한 그림 1(b)과 같이 1개의 건을 이용한 박막 제작은 스퍼터 건과 기판을 동일선상에 배치할 수 있기 때문에 더욱 높은 증착률을 얻을 수 있으며, 공정의 복잡화 문제와 조성이 균일한 박막을 얻는데 매우 유리한 강점을 가지고 있다 [13].
- 본 연구에서는 고경도, 저마찰 특성을 가지는 코팅을 제작하기 위해 Ti-Al-Si-N 코팅을 제작하였다. 기존 연구들의 경우 Ti, Al, Si 복수의 타겟들을 사용하여 코팅하는 방법과 [11] Ti-Al 합금 타겟과 Si을 함유하고 있는 가스를 사용하여 코팅하는 방식을 [12] 사용하였다.
- 본 연구에서는 공정의 단순화를 위해 Ti-Al-Si 합금 타겟을 제작하여 마그네트론 스퍼터링 공정으로 Ti-Al-Si-N 코팅을 제작하였다. Ti-Al-Si 합금 타겟을 제작하기 위해서 유성볼밀링법(planetary ball milling, PBM)을 이용한 기계적 합금화 방법으로 Ti-Al-Si 합금 분말을 제조하였으며 결정립 성장을 최소화하면서 고밀도의 소결체를 제작하기 위해 방전플라즈마 소결법 (spark plasma sintering, SPS)을 이용하여 Ti-Al-Si 합금 타겟을 제작하였다.
제안 방법
- 또한 추출한 분말은 산화를 방지하기 위해 진공 밀폐용기 안에 보관하였다. Ti-40 at% Al-10 at% Si 분말 제조 후 입도를 확인하기 위해 입도분석기 (Microtrac, Microtrac Zetatrac)를 이용하였고 분말의 형상과 조성을 확인하기 위해 주사전자현미경과 원소 분석기(HITACHI HIGH TECHNOLOGY, HITACHI SU5000)를 이용하여 분석을 진행하였다.
- Ti-Al-Si-N 박막의 표면, 단면 조직과 조성을 분석하기 위해서 주사전자현미경과 원소분석기를 이용하여 분석을 진행하였고, 제작된 박막의 경도와 마찰계수 측정을 위해서 나노인덴터(Fischer instrument, HM2000)와 볼온디스크(J&L TECH, TRIBOMETER) 장비를 이용하였다.
- 최종적으로 제작한 타겟은 아르키메데스법을 이용하여 밀도를 측정하였고 타겟의 조직과 조성을 확인하기 위해 주사전자현미경과 원소 분석기를 이용하여 분석을 진행하였다. 또한 타겟의 경도를 확인하기 위해 비커스 경도계(Mitutoyo, HM210A)를 이용하여 경도를 측정하였다.
- Ti-Al-Si-N 박막의 표면, 단면 조직과 조성을 분석하기 위해서 주사전자현미경과 원소분석기를 이용하여 분석을 진행하였고, 제작된 박막의 경도와 마찰계수 측정을 위해서 나노인덴터(Fischer instrument, HM2000)와 볼온디스크(J&L TECH, TRIBOMETER) 장비를 이용하였다. 또한, 박막의 내식 특성을 확인하기 위해 동 전위 분극시험을 진행하였다.
- 밀링시간에 따른 분말의 형상 및 조성 균일도를 확인 하기 위해 SEM, EDS, Mapping 분석을 진행하였고, 그 결과는 그림 3과 같다.
- 8% 이내였다. 박막의 경도 측정을 위해 나노 인덴터 장비를 활용하였고 시험조건은 상온에서 박막 두께의 약 7/1 ~ 10/1 깊이로 압입하여 경도를 측정하였다. 그 결과 약 35 GPa의 높은 경도값을 가지는 것을 확인할 수 있었다.
- 본 논문에서는 유성볼밀링 공정을 통해 Ti-40 at% Al-10 at% Si 합금분말을 제조하였고, 방전 플라즈마 소결공정을 통해서 Ti-40 at% Al-10 at% Si 합금 타겟을 성공적으로 제작하였다. 제작한 합금 타겟은 스퍼터 공정을 이용하여 박막을 제작하였고, 기존 복수의 타겟을 이용한 공정과 Si이 함유된 가스를 이용한 공정의 복잡화 문제점을 해결하였다.
- 용기의 체적은 500 ml이며 5 mm 직경을 가지는 볼을 사용하여 볼밀 공정을 진행하였다. 볼밀 조건은 볼과 분말의 장입비를 무게비로 10:1로 정하였고 밀링공정 중 높은 에너지에 따른 분말의 압접현상과 산화 문제를 해결하기 위해 용기 내부를 Ar 분위기로 조성하여 공정을 진행하였다. 유성볼밀링 공정시간은 20시간, 공정속도는 300 rpm으로 고정하였고 분말 장입 및 추출 전 glove box 내부를 진공상태로 만든 후 Ar 가스를 주입하여 Ar 분위기 상태에서 분말 장입 및 추출을 진행하였다.
- 2 mm, 높이 100 mm으로 정하여 가공하였다. 소결 방법은 몰드에 Ti-40 at% Al-10 at% Si 분말을 충진시킨 후 전류를 통전시키기 위해 상하에 그라파이트 펀치를 배치하였다. 몰드 내벽에 Φ3 mm의 구멍을 뚫어 R-type 의 열전대를 삽입하였고 몰드와 펀치를 위, 아래 동심원을 맞춰 정중앙에 맞췄다.
- 본 연구에서 진행한 그림 1(b)과 같이 1개의 건을 이용한 박막 제작은 스퍼터 건과 기판을 동일선상에 배치할 수 있기 때문에 더욱 높은 증착률을 얻을 수 있으며, 공정의 복잡화 문제와 조성이 균일한 박막을 얻는데 매우 유리한 강점을 가지고 있다 [13]. 스퍼터링 공전 전에 타겟 표면의 산화막을 제거하기 위해 2-2 mtorr 진공 분위기에서 Ar 가스를 주입 후 DC 200 W 인가하여 20분 동안 타겟 세정을 진행하였으며 기판의 산화막 제거는 기판 자체에 600 V의 Bias를 10분간 인가하여 기판 세정을 진행 하였다. Ti-Al-Si-N 박막은 고순도 Ar(99.
- 제조한 Ti-Al-Si 분말은 입도와 조성 균일도를 확인하기 위해 맵핑 분석을 진행하였고 제작한 Ti-Al-Si 합금 타겟의 밀도와 경도를 측정하였으며 추가적으로 조직 및 조성 분석을 진행하였다. 스퍼터링 공정을 이용하여 제작한 Ti-Al-Si-N 박막은 표면, 단면 조직 관찰 및 조성을 확인하였고 경도, 마찰 특성을 확인하였다.
- 볼밀 조건은 볼과 분말의 장입비를 무게비로 10:1로 정하였고 밀링공정 중 높은 에너지에 따른 분말의 압접현상과 산화 문제를 해결하기 위해 용기 내부를 Ar 분위기로 조성하여 공정을 진행하였다. 유성볼밀링 공정시간은 20시간, 공정속도는 300 rpm으로 고정하였고 분말 장입 및 추출 전 glove box 내부를 진공상태로 만든 후 Ar 가스를 주입하여 Ar 분위기 상태에서 분말 장입 및 추출을 진행하였다. 또한 추출한 분말은 산화를 방지하기 위해 진공 밀폐용기 안에 보관하였다.
- 1의 높은 경도를 갖는 것을 확인할 수 있었다. 제작한 타겟의 조직을 보기 위해 타겟을 커팅하였고, 커팅된 타겟은 마운팅 후 폴리싱을 하여 조직 및 조성분석을 진행하였다. 조직 및 조성 분석 결과 전체적으로 균일한 크기의 결정립을 가지는 것을 확인하였으며 그 크기는 약 2 ~ 3 ㎛인 것을 알 수 있다.
- 본 논문에서는 유성볼밀링 공정을 통해 Ti-40 at% Al-10 at% Si 합금분말을 제조하였고, 방전 플라즈마 소결공정을 통해서 Ti-40 at% Al-10 at% Si 합금 타겟을 성공적으로 제작하였다. 제작한 합금 타겟은 스퍼터 공정을 이용하여 박막을 제작하였고, 기존 복수의 타겟을 이용한 공정과 Si이 함유된 가스를 이용한 공정의 복잡화 문제점을 해결하였다. 분말, 타겟, 코팅 모두 매우 높은 조성 균일도를 가졌으며 박막의 경우 약 50 nm 이하의 미세 결정립을 가지는 것을 관찰하였다.
- 제조한 Ti-40 at% Al-10 at% Si 합금분말을 방전플라즈마 소결장비(DR.SINTER, SPS-625)를 이용하여 소결공정을 진행하였다. 소결공정을 진행하기 위해 고강도 그라파이트(ISO-63)를 사용하여 몰드를 제작하였고 몰드의 크기는 외경 Φ120 mm, 내경 Φ76.
- 제작한 Ti-Al-Si 합금 타겟은 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Ti-Al-Si-N 코팅을 제작하였다. 제조한 Ti-Al-Si 분말은 입도와 조성 균일도를 확인하기 위해 맵핑 분석을 진행하였고 제작한 Ti-Al-Si 합금 타겟의 밀도와 경도를 측정하였으며 추가적으로 조직 및 조성 분석을 진행하였다. 스퍼터링 공정을 이용하여 제작한 Ti-Al-Si-N 박막은 표면, 단면 조직 관찰 및 조성을 확인하였고 경도, 마찰 특성을 확인하였다.
- 몰드 내벽에 Φ3 mm의 구멍을 뚫어 R-type 의 열전대를 삽입하였고 몰드와 펀치를 위, 아래 동심원을 맞춰 정중앙에 맞췄다. 진공분위기에서 소결을 진행하기 위해서 로터리 펌프와 부스터 펌프를 이용하여 2 mtorr까지 진공 분위기를 만들어 공정을 진행하였다. 승온 속도는 분당 100℃씩 올려 10분 동안 1,000℃를 올리고 1,000℃에서 5 분간 유지하였으며 소결 압력은 70 MPa로 고정하였다.
대상 데이터
- 스퍼터링 공전 전에 타겟 표면의 산화막을 제거하기 위해 2-2 mtorr 진공 분위기에서 Ar 가스를 주입 후 DC 200 W 인가하여 20분 동안 타겟 세정을 진행하였으며 기판의 산화막 제거는 기판 자체에 600 V의 Bias를 10분간 인가하여 기판 세정을 진행 하였다. Ti-Al-Si-N 박막은 고순도 Ar(99.999%) 가스와 고순도 N2(99.999%) 가스를 사용하였고 가스의 전체 양은 36 sccm으로 고정하였다. 가스 비율은 Ar과 N2 가스비를 5:1(Ar : 30 sccm, N2 : 6 sccm)로 정하여 코팅공정을 진행하였으며 표 3에 스퍼터링 공전 조건을 나타내었다.
- 기판으로 Si wafer(100)와 Φ30, 5 t 크기의 공구강으로 많이 사용되는 SCM415 시편을 사용하였고 기판 세척은 아세톤과 알콜을 사용하여 초음파 세척을 진행하였다.
- 본 연구에서는 Ti, Al, Si 분말을 사용하여 Ti-40 at% Al-10 at% Si 합금분말을 제조하였다. 모든 분말의 순도는 99.9% 이상이며 입도는 각각 18.4 ㎛, 72.4㎛, 20.9 ㎛의 크기를 사용하였다. 분말 제조는 유성 볼밀링(FRITSH, Pulverisette 5) 장비를 사용하였고, 합금분말 제조를 위해서 내마모 특성이 좋아 고경도 소재에 대한 볼 밀링이 유리한 지르코니아 용기와 볼을 사용하였다.
- 본 연구에서는 Ti, Al, Si 분말을 사용하여 Ti-40 at% Al-10 at% Si 합금분말을 제조하였다. 모든 분말의 순도는 99.
- 본 연구에서는 밀링 공정을 이용하여 분말을 미세화 시키고, 균일한 조성 분포를 가지는 Ti-40 at% Al-10 at% Si 합금분말을 제조하였다.
- 9 ㎛의 크기를 사용하였다. 분말 제조는 유성 볼밀링(FRITSH, Pulverisette 5) 장비를 사용하였고, 합금분말 제조를 위해서 내마모 특성이 좋아 고경도 소재에 대한 볼 밀링이 유리한 지르코니아 용기와 볼을 사용하였다. 용기의 체적은 500 ml이며 5 mm 직경을 가지는 볼을 사용하여 볼밀 공정을 진행하였다.
- 소결공정을 진행하기 위해 고강도 그라파이트(ISO-63)를 사용하여 몰드를 제작하였고 몰드의 크기는 외경 Φ120 mm, 내경 Φ76.2 mm, 높이 100 mm으로 정하여 가공하였다.
- 그림 6은 볼온 디스크 장비를 이용하여 마찰시험을 한 결과이다. 시험 대상은 공구강으로 많이 사용되고 있는 SCM415 시편과 Ti-Al-Si-N 박막이 입혀진 SCM415 시편을 비교하였으며 증착된 박막의 두께는 약 3 ㎛이다. 시험 조건은 거리는 500 m, 속도는 100 mm/s, 하중은 5 N, 볼은 SUJ2를 사용하였다.
- 시험 대상은 공구강으로 많이 사용되고 있는 SCM415 시편과 Ti-Al-Si-N 박막이 입혀진 SCM415 시편을 비교하였으며 증착된 박막의 두께는 약 3 ㎛이다. 시험 조건은 거리는 500 m, 속도는 100 mm/s, 하중은 5 N, 볼은 SUJ2를 사용하였다. 시험 결과 Ti-Al-Si-N 박막이 입혀진 시편이 상대적으로 낮은 마찰계수값을 가지는 것을 확인할 수 있었으며 그 값은 약 0.
- 제작한 Ti-40 at% Al-10 at% Si 합금 타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링 공정을 진행하였다. 기판으로 Si wafer(100)와 Φ30, 5 t 크기의 공구강으로 많이 사용되는 SCM415 시편을 사용하였고 기판 세척은 아세톤과 알콜을 사용하여 초음파 세척을 진행하였다.
- 제작할 타겟의 크기는 직경 Φ76.2 mm에 높이 7 mm이며 표 2는 타겟을 제작하기 위한 방전 플라즈마 소결 공정 조건을 나타 내었다.
데이터처리
- 최종적으로 제작한 타겟은 아르키메데스법을 이용하여 밀도를 측정하였고 타겟의 조직과 조성을 확인하기 위해 주사전자현미경과 원소 분석기를 이용하여 분석을 진행하였다. 또한 타겟의 경도를 확인하기 위해 비커스 경도계(Mitutoyo, HM210A)를 이용하여 경도를 측정하였다.
이론/모형
- 본 연구에서는 공정의 단순화를 위해 Ti-Al-Si 합금 타겟을 제작하여 마그네트론 스퍼터링 공정으로 Ti-Al-Si-N 코팅을 제작하였다. Ti-Al-Si 합금 타겟을 제작하기 위해서 유성볼밀링법(planetary ball milling, PBM)을 이용한 기계적 합금화 방법으로 Ti-Al-Si 합금 분말을 제조하였으며 결정립 성장을 최소화하면서 고밀도의 소결체를 제작하기 위해 방전플라즈마 소결법 (spark plasma sintering, SPS)을 이용하여 Ti-Al-Si 합금 타겟을 제작하였다. 제작한 Ti-Al-Si 합금 타겟은 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Ti-Al-Si-N 코팅을 제작하였다.
- Ti-Al-Si 합금 타겟을 제작하기 위해서 유성볼밀링법(planetary ball milling, PBM)을 이용한 기계적 합금화 방법으로 Ti-Al-Si 합금 분말을 제조하였으며 결정립 성장을 최소화하면서 고밀도의 소결체를 제작하기 위해 방전플라즈마 소결법 (spark plasma sintering, SPS)을 이용하여 Ti-Al-Si 합금 타겟을 제작하였다. 제작한 Ti-Al-Si 합금 타겟은 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Ti-Al-Si-N 코팅을 제작하였다. 제조한 Ti-Al-Si 분말은 입도와 조성 균일도를 확인하기 위해 맵핑 분석을 진행하였고 제작한 Ti-Al-Si 합금 타겟의 밀도와 경도를 측정하였으며 추가적으로 조직 및 조성 분석을 진행하였다.
성능/효과
- 박막의 경도 측정을 위해 나노 인덴터 장비를 활용하였고 시험조건은 상온에서 박막 두께의 약 7/1 ~ 10/1 깊이로 압입하여 경도를 측정하였다. 그 결과 약 35 GPa의 높은 경도값을 가지는 것을 확인할 수 있었다.
- 또한 EDS 분석 결과 조성 오차율이 약 ±4.5% 이상 나는 것을 확인할 수 있었으며 맵핑 분석 결과 Ti, Al, Si 분말들이 전체적으로 불균일하게 분포되어 있는 것을 확인할 수 있었다.
- 제작한 박막의 표면 분석 결과 결정립이 매우 미세한 것을 관찰할 수 있었으며 결정립의 크기는 약 50 nm 이하인 것을 확인할 수 있었다. 또한 박막의 단면 관찰 결과 매우 미세한 조직을 가지고 있는 것을 확인할 수 있었으며 박막의 증착률을 계산한 결과 약 0.06 ㎛/min였다. 박막의 맵핑 분석 결과 각 원소별 분산율이 매우 높은 것을 확인할 수 있었으며 박막의 조성 오차율은 약 ±1.
- 또한, 조성 분석 결과 밀링 20시간 후 분말의 경우 조성 오차율이 약 ±1.5% 이하인 것을 확인할 수 있었다.
- 시험 후 박막의 마모를 확인하기 위해 현미경 관찰을 진행하였고, 볼에 의한 흔만 관찰이 되고, 막의 손상은 전혀 없었으며 볼에 의한 흔의 폭을 확인한 결과 약 169 ㎛였다. 마찰 시험 결과를 통해 SCM415 시편의 Ti-Al-Si-N 박막에 의한 마찰계수 저감 및 마모 특성이 향상된 것을 확인할 수 있었다.
- 5% 이상 나는 것을 확인할 수 있었으며 맵핑 분석 결과 Ti, Al, Si 분말들이 전체적으로 불균일하게 분포되어 있는 것을 확인할 수 있었다. 밀링 20시간 후의 분말의 형상 및 조성 균일도를 확인한 결과 분말의 크기는 약 3 ~ 4 ㎛로 전체적으로 균일한 크기를 가졌으며 맵핑 분석 결과 모든 원소들이 균일하게 분포하고 있는 것을 확인할 수 있었다. 또한, 조성 분석 결과 밀링 20시간 후 분말의 경우 조성 오차율이 약 ±1.
- 분말, 타겟, 코팅 모두 매우 높은 조성 균일도를 가졌으며 박막의 경우 약 50 nm 이하의 미세 결정립을 가지는 것을 관찰하였다. 박막의 기계적 특성평가를 위해 경도를 측정한 결과 약 35 GPa의 높은 경도값을 가지는 것을 확인하였고 마찰계수 측정 결과 약 0.66으로 코팅이 되지 않은 기판대비 약 27% 이상 마찰계수가 작아지는 것을 확인할 수 있었다. 또한 마찰 시험 후 박막의 손상은 전혀 발생하지 않았다.
- 박막의 맵핑 분석 결과 각 원소별 분산율이 매우 높은 것을 확인할 수 있었으며 박막의 조성 오차율은 약 ±1.8% 이내였다.
- 제작한 합금 타겟은 스퍼터 공정을 이용하여 박막을 제작하였고, 기존 복수의 타겟을 이용한 공정과 Si이 함유된 가스를 이용한 공정의 복잡화 문제점을 해결하였다. 분말, 타겟, 코팅 모두 매우 높은 조성 균일도를 가졌으며 박막의 경우 약 50 nm 이하의 미세 결정립을 가지는 것을 관찰하였다. 박막의 기계적 특성평가를 위해 경도를 측정한 결과 약 35 GPa의 높은 경도값을 가지는 것을 확인하였고 마찰계수 측정 결과 약 0.
- 그림 2는 밀링 전 원분말들의 입도와 밀링 시간에 따른 Ti-40 at% Al-10 at% Si 합금분말의 입도 변화를 보여주는 결과이다. 분석 결과 Ti-40 at% Al-10 at% Si 분말이 밀링 시간에 따라 점차적으로 입도가 감소하는 경향을 보여주는 것을 확인할 수 있었으며 최종적으로 20시간 후에는 약 10 ㎛의 입도를 가지는 것을 확인할 수 있었다.
- 시험 조건은 거리는 500 m, 속도는 100 mm/s, 하중은 5 N, 볼은 SUJ2를 사용하였다. 시험 결과 Ti-Al-Si-N 박막이 입혀진 시편이 상대적으로 낮은 마찰계수값을 가지는 것을 확인할 수 있었으며 그 값은 약 0.66이다. 시험 후 박막의 마모를 확인하기 위해 현미경 관찰을 진행하였고, 볼에 의한 흔만 관찰이 되고, 막의 손상은 전혀 없었으며 볼에 의한 흔의 폭을 확인한 결과 약 169 ㎛였다.
- 66이다. 시험 후 박막의 마모를 확인하기 위해 현미경 관찰을 진행하였고, 볼에 의한 흔만 관찰이 되고, 막의 손상은 전혀 없었으며 볼에 의한 흔의 폭을 확인한 결과 약 169 ㎛였다. 마찰 시험 결과를 통해 SCM415 시편의 Ti-Al-Si-N 박막에 의한 마찰계수 저감 및 마모 특성이 향상된 것을 확인할 수 있었다.
- 그림 4는 Ti-40 at% Al-10 at% Si 분말을 이용하여 방전 플라즈마 공정 후 제작된 타겟의 사진과 타겟의 조직 및 조성 분석 결과를 보여준다. 아르키메데스법을 이용하여 타겟의 밀도를 측정한 결과 약 99%의 높은 소결밀도를 보이는 것을 확인하였으며 비커스 경도계를 이용하여 타겟의 경도 측정 결과 약 1,127 Hv0.1의 높은 경도를 갖는 것을 확인할 수 있었다. 제작한 타겟의 조직을 보기 위해 타겟을 커팅하였고, 커팅된 타겟은 마운팅 후 폴리싱을 하여 조직 및 조성분석을 진행하였다.
- 5% 이하인 것을 확인할 수 있었다. 이러한 결과를 통해 밀링 시간이 길어짐에 따라 분말의 미세화 및 분산율이 더 높아지는 것을 확인할 수 있었다.
- 그림 5는 본 연구에서 제작한 박막의 표면 및 단면 분석 결과와 조성 및 맵핑 분석 결과를 보여준다. 제작한 박막의 표면 분석 결과 결정립이 매우 미세한 것을 관찰할 수 있었으며 결정립의 크기는 약 50 nm 이하인 것을 확인할 수 있었다. 또한 박막의 단면 관찰 결과 매우 미세한 조직을 가지고 있는 것을 확인할 수 있었으며 박막의 증착률을 계산한 결과 약 0.
- 조직 및 조성 분석 결과 전체적으로 균일한 크기의 결정립을 가지는 것을 확인하였으며 그 크기는 약 2 ~ 3 ㎛인 것을 알 수 있다.
- 타겟의 조성 분석 결과 조성 오차율이 약 ±1.5% 이하로 매우 높은 조성 균일도를 가지는 것을 확인할 수 있었다.
후속연구
- 이러한 결과를 통해 추후 공구, 자동차, 항공 등과 같이 고경도, 저마찰 특성이 필요로 하는 산업에 Ti-Al-Si-N 코팅을 적용한다면 에너지를 절약할 수 있으며 기존 부품의 내구성을 향상시켜 비용 절감에 유리할 것이라 사료된다. 또한, 추가적으로 조성변화 및 원소 추가로 인한 코팅에 대한 연구가 계속적으로 발전할 것이라 기대된다.
- 또한 마찰 시험 후 박막의 손상은 전혀 발생하지 않았다. 이러한 결과를 통해 추후 공구, 자동차, 항공 등과 같이 고경도, 저마찰 특성이 필요로 하는 산업에 Ti-Al-Si-N 코팅을 적용한다면 에너지를 절약할 수 있으며 기존 부품의 내구성을 향상시켜 비용 절감에 유리할 것이라 사료된다. 또한, 추가적으로 조성변화 및 원소 추가로 인한 코팅에 대한 연구가 계속적으로 발전할 것이라 기대된다.
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