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NTIS 바로가기한국유화학회지 = Journal of oil & applied science, v.34 no.4, 2017년, pp.1017 - 1024
Carbon thin films were deposited by HiPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering). The properties and microstructures of carbon thin film were investigated with power, pressure, bias voltage and duty cycle. As the HiPIMS power increased, the deposition thickness increased and the surface tended to...
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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열분해탄소의 장단점은? | 또한, VDR 공정에서 Si 증착반응 온도는 1400℃ 이상의 고온이며 유리성형 온도 또한 600℃ 이상의 온도이기 때문에 graphite 상의 안정한 박막으로는 GLC(Graphite-like Carbon)나 열분해탄소(pyrolytic carbon)의 합성이 요구되며 이에 대한 요소기술의 개발이 필요하다. 그러나 GLC에 비해서 열분해탄소의 경우, graphite와 결정은 비슷하지만 합성 시 불안정성으로 인하여 그래핀(graphene) 단일막 사이에 공유결합을 하면서 운모(mica)처럼 쪼개짐면 방향으로 성장하며 모자이크 quasi-결정체를 이루게 되며 이러한 이방성의 원인으로 표면조도가 매우 높은 단점을 갖는 반면에 장점으로는 수평방향으로의 열전달계수가 graphite보다도 수배에 이르는 특성을 갖게 된다[3]. 일반적으로 단단한 카본 박막은 다이아몬드 구조를 갖는 sp3 결합의 비율이 높아야 하며 sp2 결합의 비율이 많은 박막은 연하다고 알려져 있으며 GLC 박막은 화학적으로 불활성이고 낮은 내부 응력 때문에 우수한 내마모성을 갖으며 열역학적으로 안정하여 생체적 합성을 이룬다고 알려져 있다[4-7]. | |
PVD 방법에 의해 형성된 카본 박막은 400℃ 이상에서 어떻게 되는가? | 따라서 공공을 메우는 표면 개질 기술은 매우 중요하며 이를 통해 경도의 증가 및 표면 조도의 향상과 함께 내마모성을 향상시킬 수 있는 박막제조 기술과 관련된 연구의 필요성이 증가하고 있다. 보통, PVD(Physical Vapor Deposition)방법에 의해 형성된 매우 얇은 카본 박막은 sp3 구조가 지배적인 DLC(Diamond-like Carbon) 비정질 조직으로 주로 합성되지만 400℃ 이상에서 불안정하여 대부분 sp2 구조를 갖는 graphite 결정질로 변태하게 되어 계면에서의 박리현상과 함께 부서지게 된다[1,2]. 또한, VDR 공정에서 Si 증착반응 온도는 1400℃ 이상의 고온이며 유리성형 온도 또한 600℃ 이상의 온도이기 때문에 graphite 상의 안정한 박막으로는 GLC(Graphite-like Carbon)나 열분해탄소(pyrolytic carbon)의 합성이 요구되며 이에 대한 요소기술의 개발이 필요하다. | |
공공을 메우는 표면 개질 기술이 중요한 이유는? | 유리 성형에 사용되는 흑연(graphite) 금형은 표면에 공공(pore) 등의 결함이 존재하며 Si의VDR(Vapor Deposition Reaction) 증착 반응 및 내부 확산에 의한 SiC 합성 이후에도 표면에 결함이 남는다. 따라서 공공을 메우는 표면 개질 기술은 매우 중요하며 이를 통해 경도의 증가 및 표면 조도의 향상과 함께 내마모성을 향상시킬 수 있는 박막제조 기술과 관련된 연구의 필요성이 증가하고 있다. |
J. Robertson, "Diamond-like amorphous carbon", Mater. Sci. Eng. Rep., Vol.37, pp.129-138, (2002).
T. Zaharia, P. Kudlacek, M. Creatore, R. Groenen, P. Persoone, M.C.M. van deSanden, "Improved adhesion and tribological properties of fast-deposited hard graphite-like hydrogenated amorphous carbon films", Diamond and Related Materials, Vol.20, pp.1266-1272, (2011).
G.A.J. Amaratunga, M. Chhowalla, C.J. Kiely, I. Alexandrou, R. Aharonov, R.M. Devenish, "Hard elastic carbon thin films from linking of carbon nano particles", Nature, Vol.383, pp.321-326, (1996).
Y.S. Park, H.S. Myung, J.G. Han, B. Hong, "The electrical and structural properties of the hydrogenated amorphous carbon films grown by close field unbalanced magnetron sputtering", Thin Solid Films, Vol.482, pp.275-282, (2005).
H.X. Li, T. Xu, J.M. Chen, H.D. Zhou, H.W. Liu, "The effect of applied dc bias voltage on the properties of aC: H films prepared in a dual dc-rf plasma system", Applied Surface Science, Vol.227, pp.364-370, (2004).
M. Rybachuk, J.M. Bell, "The effect of sp2 fraction and bonding disorder on micro-mechanical and electronic properties of aC: H films", Thin Solid Films, Vol,515, pp.7855-7861, (2007).
R. Olivares, S.E. Rodil, H. Arzate, "Osteo-induction properties of graphite-like amorphous carbon films evaluated in-vitro", Diamond and Related Materials, Vol.16, pp.1858-1865, (2007).
Meidong Huang, Xuequian Zhang, Peiling Ke, Aiying Wang, "Graphite-like carbon films by high power impulse magnetron sputtering", Applied Surface Science, Vol.283, pp.321-328, (2013).
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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