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문제 정의
- 척의 상부 표면은 웨이퍼와 직접 접촉하기 때문에, 이 부분의 온도 프로파일은 웨이퍼의 온도 프로파일과 밀접한 연관이 있다. 본 연구는 정전 척 상부에 PI Heater, AlN, Al2O3를 올렸을 때, 그 순서 및 두께에 따른 온도 특성을 시뮬레이션을 통하여 파악하는 것이 목적이다.
- 본 연구에서는 정전척의 표면 세라믹 물질의적층 순서 및 두께에 따른 표면 온도 특성의 변화를 확인하였다. 온도의 변화가 가장 빠른 경우는 CASE 1이며, 가장 느린 경우는 CASE 3이다.
- 본 연구에서는 척 표면에 적층되는 세라믹 물질의 적층 순서에 따른 척의 온도 균일도에 미치는 영향을 CFD(Computational Fluid Dynamics)를 이용하여 확인하고, 가장 좋은 적층 방식을 제안한다.
가설 설정
- 식 (2)는 유동에 대한 질량 보존 방정식이다. 본 연구에서 Sm은 0으로 가정하였다.
- 본 연구에서는 챔버를 포함한 전체 모델의 열전달을 시뮬레이션 한다. 열원은 Heating lamp로 2000W의 에너지를 발생하며 챔버 내벽은 단열로 가정하였다. 냉매(R501a)의 입구 유량과 온도는 각각 0.
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