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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.30 no.2, 2017년, pp.81 - 85
김진균 (충북대학교 재료공학과) , 이상돈 (강릉원주대학교 전기공학과) , 장건익 (충북대학교 재료공학과)
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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SnO2 계 박막은 가시광 영역에서 투과율이 어느정도인가? | 투명전극 소재의 하나인 SnO2 계 박막은 제조원가가 ITO에 비하여 월등히 저렴하고 내화학성과 내마모성이 우수하면서도, 가시광 영역에서의 투과율이 80% 이상으로 좋다는 점으로 ITO를 대체할 재료로 주목을 받고 있다. SnO2 박막은 또한 3. | |
투명전극이 적용되려면 어떤 조건을 만족해야 하는가? | 이러한 변화에 따라 디스플레이에 사용되는 투명전극에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다 [1-4]. 투명전극이 적용되는 조건으로는 1 × 10-3 Ω·cm 이하, 면 저항이 103 Ω/sq 이하로 전기전도성이 우수하고 380~780 nm의 가시광선 영역에서의 투과율이 80% 이상이 라는 두 가지 성질을 만족해야 한다. | |
RF/DC magnetron sputtering을 이용하여 SnO2/Ag/Nb2O5/SiO2/SnO2 다층막구조에서 상부 SnO2층의 두께를 변화시킬 경우, 두께 변화에 따라 면저항과 비저항이 어떻게 변하였는가? | 광학적 성질인 투과율은 SnO2의 두께가 45 nm에서 85.8%로 가장 우수하였고, 면저항과 비저항은 SnO2의 두께가 증가할수록 각각 증가하는 경향을 보였다. 투과율과 면저항으로 계산된 FOM은 SnO2의 두께가 45nm에서 35. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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