$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Glass 위에 증착된 SnO2/Ag/Nb2O5/SiO2/SnO2 다층 투명전도막의 성능지수
Figure of Merit of SnO2/Ag/Nb2O5/SiO2/SnO2 Transparent Conducting Multilayer Film Deposited on Glass Substrate 원문보기

전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.30 no.2, 2017년, pp.81 - 85  

김진균 (충북대학교 재료공학과) ,  이상돈 (강릉원주대학교 전기공학과) ,  장건익 (충북대학교 재료공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

$SnO_2/Ag/Nb_2O_5/SiO_2/SnO_2$ multilayer films were prepared on glass substrate by sequential using RF/DC magnetron sputtering at room temperature. The influence of top $SnO_2$ layer thickness on optical and electrical properties of the multilayer films was investigated. Exper...

주제어

#TMT structure   #Transmittance   #Sheet resistance   #Figure of merit  

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

제안 방법

  • 52)을 통해 고굴절/저굴절/고굴절 구조의 다층막을 제조하여 투과율을 상승시키고자 하였다. SiO2,Nb2O5, Ag, 하부층 SnO2 두께를 각각 10, 10, 10, 30 nm로 고정하고 상부층 SnO2 두께를 40~55 nm까지 5 nm 단위로 변화하여 그에 따른 가시광선 영역의 투과율을 측정하였다.
  • 고굴절 물질 SnO2(n=2.09), Nb2O5(2.42)와 저굴절 물질 Ag(0.12), SiO2(1.52)을 통해 고굴절/저굴절/고굴절 구조의 다층막을 제조하여 투과율을 상승시키고자 하였다. SiO2,Nb2O5, Ag, 하부층 SnO2 두께를 각각 10, 10, 10, 30 nm로 고정하고 상부층 SnO2 두께를 40~55 nm까지 5 nm 단위로 변화하여 그에 따른 가시광선 영역의 투과율을 측정하였다.
  • 본 연구에서는 RF/DC magnetron sputtering을 이용하여 SnO2/Ag/Nb2O5/SiO2/SnO2 다층막구조에서 상부 SnO2층의 두께를 변화시키며 광학적 성질, 전기적 성질의 변화와 다층막의 성능지수를 평가하였다.

대상 데이터

  • 본 실험에서 Ag 박막의 증착은 DC 마그네트론 스퍼터로 SiO2,SnO2 Nb2O5 박막은 RF 마그네트론 스퍼터를 이용하여 제조하였다. 기판은 76 × 26 × 1 mm3 크기의 소다-석회 유리(Paul Marienfeld Gmbh & Co, KG-Germany)를 사용하였다.

이론/모형

  • 구조의 다층막 모식도이다. 다층막의 투과율은 UV-VIS-NIR 분광광도계를 사용하였으며, 면저항 특성은 4-Point Probe로 측정하였다. XPS와 TEM을 이용하여 다층막의 계면특성, 성분비, 두께를 조사하였다.
  • 다층막의 투과율은 UV-VIS-NIR 분광광도계를 사용하였으며, 면저항 특성은 4-Point Probe로 측정하였다. XPS와 TEM을 이용하여 다층막의 계면특성, 성분비, 두께를 조사하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
SnO2 계 박막은 가시광 영역에서 투과율이 어느정도인가? 투명전극 소재의 하나인 SnO2 계 박막은 제조원가가 ITO에 비하여 월등히 저렴하고 내화학성과 내마모성이 우수하면서도, 가시광 영역에서의 투과율이 80% 이상으로 좋다는 점으로 ITO를 대체할 재료로 주목을 받고 있다. SnO2 박막은 또한 3.
투명전극이 적용되려면 어떤 조건을 만족해야 하는가? 이러한 변화에 따라 디스플레이에 사용되는 투명전극에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다 [1-4]. 투명전극이 적용되는 조건으로는 1 × 10-3 Ω·cm 이하, 면 저항이 103 Ω/sq 이하로 전기전도성이 우수하고 380~780 nm의 가시광선 영역에서의 투과율이 80% 이상이 라는 두 가지 성질을 만족해야 한다.
RF/DC magnetron sputtering을 이용하여 SnO2/Ag/Nb2O5/SiO2/SnO2 다층막구조에서 상부 SnO2층의 두께를 변화시킬 경우, 두께 변화에 따라 면저항과 비저항이 어떻게 변하였는가? 광학적 성질인 투과율은 SnO2의 두께가 45 nm에서 85.8%로 가장 우수하였고, 면저항과 비저항은 SnO2의 두께가 증가할수록 각각 증가하는 경향을 보였다. 투과율과 면저항으로 계산된 FOM은 SnO2의 두께가 45nm에서 35.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (14)

  1. Y. Wang, T. Brezesinski, M. Antonietti, and B. Smarsly, ACS Nano, 3, 1373 (2009). [DOI: https://doi.org/10.1021/nn900108x] 

    상세보기 crossref

  2. F. Rohlfing, D. Brezesinski, T. Rathousky, J. Feldhoff, A. Oekermann, T. Waga, M. Smarsly, and B. Ady, Mater., 18, 2980 (2006). 

  3. F. J. Yusta, M. L. Hitchman, and H, Shamlian, J. Mater. Chem., 7, 1421 (1997). [DOI: https://doi.org/10.1039/a608525c] 

    상세보기 crossref

  4. T. P. Chow, M. Ghezzo, and B. J. Baliga, J. ElecTrochem. Soc., 129, 1040 (1982). [DOI: https://doi.org/10.1149/1.2124012] 

    상세보기 crossref

  5. J. G. Kim, S. M. Yoon, and G. E. Jang, Journal of Ceramic Processing Research, 17, 80 (2016). 

    상세보기

  6. J. G. Kim and G. E. Jang, Jounal of Ceramic Processing Research, 17, 103 (2016). 

  7. A. Dhar and T. L. Alford, J. Appl. Phys., 112, 103113 (2012). 

    상세보기 crossref

  8. A. Indluru and T. L. Alford, J. Appl. Phys., 105, 123528 (2009). [DOI: https://doi.org/10.1063/1.3153977] 

    상세보기 crossref

  9. V. Sharma, S. Singh, K. Asokan, and K. Sachdev, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 379, 141 (2016). [DOI: https://doi.org/10.1016/j.nimb.2016.04.059] 

    상세보기 crossref

  10. Y. Guo, W. Cheng, J. Jiang, S. Zuo, F. Shi, and J. Chu, Vacuum, 131, 164 (2016). [DOI: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2016.06.014] 

    상세보기 crossref

  11. J. H. Kim, Y. J. Moon, S. K. Kim, Y. Z. Yoo, and T. Y. Seong, Ceramics International, 41, 14805 (2015). [DOI: https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2015.08.001] 

    상세보기 crossref

  12. G. Haacke, J. Appl. Phys., 47, 4086 (1976). [DOI: https://doi.org/10.1063/1.323240] 

    상세보기 crossref

  13. S. H. Yu, C. H. Jia, H. W. Zheng, L. H. Ding, and W. F. Zhang, Materials Letters, 85, 68 (2012). [DOI: https://doi.org/10.1016/j.matlet.2012.06.108] 

    상세보기 crossref

  14. A. Bou, P. Torchio, D. Barakel, F. Thierry, P. Y. Thoilon, and M. Ricci, Proc. of SPIE, 8987, 898706 (2014). [DOI: https://doi.org/10.1117/12.2039067] 

저자의 다른 논문 :

관련 콘텐츠

오픈액세스(OA) 유형

GOLD

오픈액세스 학술지에 출판된 논문

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로