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NTIS 바로가기비파괴검사학회지 = Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing, v.37 no.1, 2017년, pp.1 - 6
박성현 (한양대학교 융합기계공학과) , 오경환 (한양대학교 융합기계공학과) , 김학성 (한양대학교 융합기계공학과)
In this study, a terahertz time domain spectroscopy (THz-TDS) imaging technique was used to measure doping concentration and physical properties (such as refractive index and permittivity) of the doped silicon (Si) wafers. The transmission and reflection modes with an incidence angle of
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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테라헤르츠 시간분광영상시스템은 어떠한 것들로 구성되어 있는가 | 1은 펄스형 테라헤르츠파의 수신부와 송신부의 동기화에 대한 실험적인 설비에 대한 개략도이다. 테라헤르츠 시간분광영상시스템 (THztime domain spectroscopy : TDS)은 펨토초 레이저 모듈과 테라헤르츠 시간분광모듈, 영상용 XY 모션 시편부로 구성되어 있으며 테라헤르츠 시간분광모듈은 하나의 송신부와 수신부 그리고 렌즈와 거울, 빔가이드 등으로 이루어진 광학계로 구성 되어 있다. 이러한 테라헤르츠 영상 시스템은 0. | |
테라헤르츠파 기술의 단점은 무엇인가 | 1~10 THz의 스펙트럼 영역의 테라헤르츠(terahertz: THz)파 기술이 큰 관심을 끌고 있다[1-4]. 이러한 테라헤르츠파 기술은 지난 몇 년간 보안과 국가안보, 생물과학, 비파괴 검사 등의 다양한 어플리케이션에 사용되어 왔지만[5-9], 금속과 도핑이 많이 된 반도체, 두꺼운 물질에 대한 낮은 투과성을 보이는 단점 때문에 다양한 물질들로 복잡한 구조를 이루고 있는 반도체 분야에서는 제한이 되어 왔다[10]. 그러나, 테라헤르츠파를 이용하여 반도체에 관한 어플리케이션을 찾으려는 노력에 의해, 반도체에 주로 사용되는 실리콘 웨이퍼와 폴리머와 같은 물질의 광학 특성에 대한 연구가 최근 보고되는 등 기술에 대한 연구가 진행 중에 있다[11,12]. | |
테라헤르츠파의 반사율과 도핑 정도의 선형성을 확인하기 위해 회귀분석을 수행 시 설정한 4가지 가정은 무엇인가 | 이는 선형회귀모델이 자료에 잘 적합하는가를 검증하는 것으로, 다음과 같은 4가지 가정이 필요하다. 오차항의 독립성, 정규성, 등분산성 그리고 변수 간 성형성을 가진다는 것이다. 다음과 같은 총제곱합(total sum of squares, SST), 회귀제곱합(total sum of squares of regression, SSR), 오차제곱합(total sum of squares of error, SSE) 식을 사용되었다. |
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