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한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.27 no.4, 2017년, pp.211 - 215
황상혁 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 권희태 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 김우재 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 최진우 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 신기원 (광운대학교 전자바이오물리학과) , 양창실 (제이비코포레이션) , 권기청 (광운대학교 전자바이오물리학과)
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Reactive Ion Etching (RIE) and wet etching are employed in existing texturing processes to fabricate solar cells. Laser etching is used for particular purposes such as selective etching for grooves. However, such processes require a higher level of cost and longer processing time and those factors a...
| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 대기압 플라즈마로 제작된 태양전지는 반응성 이온식각 방식보다 얼마나 우수한 태양전지를 제조할 수 있었는가? | 공정 가스와 인가전력, 가스유량 등을 매개변수로 대기압 플라즈마를 이용한 결정질 실리콘 태양전지 공정에서 식각 속도를 측정하였으며, 20 lpm의 Argon과 800 sccm의 SF6, 600 sccm의 O2를 혼합한 공정 가스에서 높은 식각 속도를 확인할 수 있었고, 같은 조건에서 가장 우수한 태양전지를 제조할 수 있었다. 대기압 플라즈마로 제작된 태양전지를 반응성 이온 식각 방식으로 제작된 태양전지의 표면형상, 광학 및 전기적 특성을 확인하여, 반응성 이온 식각 방식보다 0.68 % 우수한 태양전지를 제조할 수 있었다. | |
| 결정질 태양전지에 건식 식각 방식을 사용할 경우 문제점은? | 3) 표면조직화 방법에는 크게 산성 및 염기성 용액을 사용하는 습식 식각 방식과 용액을 사용하지 않는 건식 식각 방식 중의 하나인 반응성 이온 식각 방식이 많이 사용되고 있다.3-6) 하지만 양산공정에서 일반적으로 사용되는 건식 식각 방식은 높은 장비 가격과 진공 장비 등의 부대설비 등으로 인해 태양전지의 생산단가에 악영향을 준다.7) 본 연구에서는 대기압 플라즈마를 결정질 실리콘 태양전지 표면조직화 공정에 도입하여, 저가의 실리콘 태양전지 식각 공정 장치를 제안하고, 대기압 플라즈마를 실리콘 태양전지 공정에 도입하여, 태양전지 생산단가 절감에 기여하고자 한다. | |
| 태양전지 변환 효율에 가장 큰 영향을 미치는 변수는? | 태양전지 시장의 90 % 이상을 차지하는 결정질 태양전지에서 광전 변환 효율과 생산단가는 향후의 태양전지 산업의 활성화에 가장 중요한 요소이다.1-2) 실리콘 웨이퍼 표면의 광 흡수율은 태양전지 변환 효율에 가장 큰 영향을 미치는 변수이다.3) 표면조직화 방법에는 크게 산성 및 염기성 용액을 사용하는 습식 식각 방식과 용액을 사용하지 않는 건식 식각 방식 중의 하나인 반응성 이온 식각 방식이 많이 사용되고 있다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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