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플라즈마 본딩을 이용한 PMMA 음파영동 미세유체 칩의 제작
Fabrication of PMMA Acoustophoretic Microfluidic Chip Using Plasma Assisted Bonding

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.34 no.5, 2017년, pp.343 - 347  

윤류리 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과) ,  김성만 (미국 텍사스 A&M 대학 전기공학과) ,  한아름 (미국 텍사스 A&M 대학 전기공학과) ,  조영학 (서울과학기술대학교 기계시스템디자인공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, we propose a simple and low-cost fabrication method for PMMA (Poly (Methyl Methacrylate)) acoustophoretic microfluidic chips using plasma-assisted bonding followed by MEMS (Microelectromechanical Systems) processes. A metal mold for replicating the PMMA polymer was fabricated using ME...

주제어

참고문헌 (16)

  1. Leibacher, Ivo, Reichert, Peter, Dual, Jürg. Microfluidic droplet handling by bulk acoustic wave (BAW) acoustophoresis. Lab on a chip, vol.15, no.13, 2896-2905.

  2. Wiklund, Martin. Acoustofluidics 12: Biocompatibility and cell viability in microfluidic acoustic resonators. Lab on a chip, vol.12, no.11, 2018-.

  3. Lin, Sz-Chin Steven, Mao, Xiaole, Huang, Tony Jun. Surface acoustic wave (SAW) acoustophoresis: now and beyond. Lab on a chip, vol.12, no.16, 2766-.

  4. Nam, J., Lim, H., Kim, D., and Shin, S., “Acoustic Device for Selective Platelet Extraction from Whole Blood,” Proc. of the 15th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, pp. 1326-1328, 2011. 

  5. Petersson, Filip, Nilsson, Andreas, Holm, Cecilia, Jönsson, Henrik, Laurell, Thomas. Continuous separation of lipid particles from erythrocytes by means of laminar flow and acoustic standing wave forces. Lab on a chip, vol.5, no.1, 20-22.

  6. Leibacher, Ivo, Reichert, Peter, Dual, Jürg. Microfluidic droplet handling by bulk acoustic wave (BAW) acoustophoresis. Lab on a chip, vol.15, no.13, 2896-2905.

  7. Persson, Jonas, Augustsson, Per, Laurell, Tomas, Ohlin, Mats. Acoustic microfluidic chip technology to facilitate automation of phage display selection. The FEBS journal, vol.275, no.22, 5657-5666.

  8. Evander, Mikael, Lenshof, Andreas, Laurell, Thomas, Nilsson, Johan. Acoustophoresis in Wet-Etched Glass Chips. Analytical chemistry, vol.80, no.13, 5178-5185.

  9. Doria, A., Martin, N. E., and Lee, A. P., “Rapid Two-Step Blood Sample Preparation with Acoustic Microfluidic Chips,” Proc. of the 16th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, pp. 1366-1368, 2012. 

  10. Harris, N., Keating, A., and Hill, M., “A Lateral Mode Flowthrough PMMA Ultrasonic Separator,” International Journal of Applied Biomedical Engineering, Vol. 5, No.1, pp. 20-27, 2012. 

  11. Abgrall, Patrick, Low, Lee-Ngo, Nguyen, Nam-Trung. Fabrication of planar nanofluidic channels in a thermoplastic by hot-embossing and thermal bonding. Lab on a chip, vol.7, no.4, 520-522.

  12. Brown, Laurie, Koerner, Terry, Horton, J. Hugh, Oleschuk, Richard D.. Fabrication and characterization of poly(methylmethacrylate) microfluidic devices bonded using surface modifications and solvents. Lab on a chip, vol.6, no.1, 66-73.

  13. Tsao, Chia-Wen, DeVoe, Don L.. Bonding of thermoplastic polymer microfluidics. Microfluidics and Nanofluidics, vol.6, no.1, 1-16.

  14. Yoo, K.-P., Kang, M.-S., Pyo, S.-Y., Hong, S.-I., and Min, N.-K., “The Bonding Properties of PDMS-Substrate by Oxygen Plasma Treatment,” Proc. of the Korean Institute of Electrical Engineers Conference, pp. 1914-1916, 2003. 

  15. Rymuszka, Diana, Terpiłowski, Konrad, Hołysz, Lucyna, Chibowski, Emil. Changes in surface properties of polymethylmethacrylate (PMMA) treated with air plasma. Annales Universitatis Mariae Curie-Skłodowska. Sectio AA, Chemia, vol.70, no.1,

  16. Laurell, Thomas, Petersson, Filip, Nilsson, Andreas. Chip integrated strategies for acoustic separation and manipulation of cells and particles. Chemical Society reviews, vol.36, no.3, 492-506.

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