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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.16 no.1, 2017년, pp.116 - 119
서동민 (전북대학교 대학원 기계설계공학과) , 고동국 (전북대학교 공과대학 기계설계공학부) , 임익태 (전북대학교 공과대학 기계설계공학부)
In this paper, natural convection around the ambient evaporator was numerically studied using commercial computational fluid dynamics software. From the simulations, temperature and velocity fields around the evaporator were found as a function of evaporator size and liquefied gas flow rate. The hea...
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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기화기란? | 반도체 산업에서 많이 사용되는 작업용 기체는 수송이나 보관의 편리성을 높이기 위하여 고압으로 압축하여 액체 상태로 운반되거나 보관된다. 이러한 고압가스를 반도체 산업을 포함한 산업 현장에서 사용할 수 있게 다시 기체 상태로 만들어 생산 공정에 투입할 수 있게 하는 장치가 기화기이다. 기화기는 기화시키는 방법에 따라 대기식, 온수식, 스팀식 등으로 분류한다. | |
기화기의 기화시키는 방법에 따른 특징은? | 기화기는 기화시키는 방법에 따라 대기식, 온수식, 스팀식 등으로 분류한다. 온수식과 스팀식의 경우에는 전기적 가열 또는 증기를 이용하는 열교환 방식으로 액화가스를 기화시키기 때문에 가스 사용량이 증가함에 따라 열에너지의 소비가 많고 부식에 대한 위험성도 크다. 그러나 주변 공기의 열을 이용하여 액화 기체를 기화시키는 대기식 기화기의 경우에는 열에너지 소모가 업고 따로 에너지원이 필요하지 않아 운용비용 및 부식에 대한 부담이 적어 친환경적인 제품이라고 할 수 있다. | |
기화기의 분류는? | 이러한 고압가스를 반도체 산업을 포함한 산업 현장에서 사용할 수 있게 다시 기체 상태로 만들어 생산 공정에 투입할 수 있게 하는 장치가 기화기이다. 기화기는 기화시키는 방법에 따라 대기식, 온수식, 스팀식 등으로 분류한다. 온수식과 스팀식의 경우에는 전기적 가열 또는 증기를 이용하는 열교환 방식으로 액화가스를 기화시키기 때문에 가스 사용량이 증가함에 따라 열에너지의 소비가 많고 부식에 대한 위험성도 크다. |
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