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NTIS 바로가기한국지능시스템학회 논문지 = Journal of Korean institute of intelligent systems, v.27 no.2, 2017년, pp.106 - 112
최대규 (한화시스템(주)) , 김용태 (한경대학교 전기전자제어공학과)
In the paper, we propose a levitation and a propulsion controller for the magnetic levitation logistic transportation system. The levitation controller is designed considering the mutual influence of the electromagnets to minimize roll and pitch movements. In order to solve the structural disadvanta...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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자기부상기술의 장점은? | 최근 이러한 반도체 산업과 고청정, 고정밀도의 장치를 요구하는 분야가 많이 증가하고 있는 추세이고, 특히 공정 중 클린룸에서의 이송공정과 같은 고청정 공정에 적용 가능한 자기부상식 반도체 이송장치에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다[3-4]. 자기부상기술은 비접촉식으로 기계적인 접촉에 의해 발생되는 분진, 소음, 진동 등을 최소화할 수 있다는 장점이 있다. | |
반도체 기업들이 더욱 큰 경쟁력을 가지기 위해서 해야하는 것은? | 국내 반도체 제조기술은 세계적으로 높은 기술적 경쟁력을 보유하고 있으나, 반도체 공정 및 이송 장비들은 그에 비해 매우 낙후되어 있으며, 대부분이 수입에 의존하고 있다. 또한 많은 국내 반도체 기업들은 생산성 향상과 원가절감을 목표로 다양한 기술을 개발하고 있으나, 더욱 큰 경쟁력을 가지기 위해서는 장비의 국산화와 반도체 생산 및 이송공정기술의 개발을 통한 단가 경쟁력 및 고품질 생산을 위한 기술개발이 필수적으로 요구되어지고 있다[1-2]. 최근 이러한 반도체 산업과 고청정, 고정밀도의 장치를 요구하는 분야가 많이 증가하고 있는 추세이고, 특히 공정 중 클린룸에서의 이송공정과 같은 고청정 공정에 적용 가능한 자기부상식 반도체 이송장치에 대한 연구가 활발하게 이루어지고 있다[3-4]. | |
안정적인제어시스템의 설계에 대한 중요성이 커지고 있는 것은 어떤 문제를 개선하기 위함인가? | 자기부상시스템은 중력과 자기력을 이용하는 방식이기 때문에 비선형성을 가지고 있어서 시스템 자체가 전체적으로 불안정하다는 단점이 있다. 이러한 문제점을 개선하기 위하여 안정적인제어시스템의 설계에 대한 중요성이 커지고 있다. |
C. H. Kim, H. S. Han, "Control of an EM-PM Hybrid Maglev LCD Glass Conveyor", Conference on The Korean Society of Mechanical Engineers, Vol. 2010, No. 11, pp. 1522-1527, 2010.
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B. H. Lee, Y. T. Kim, "Modeling of Magnetic Levitation Logistics Transport System Using Extreme Learning Machine", Journal of The Institute of Electronics Engineers of Korea, Vol. 50, No. 1, pp. 269-275, 2013.
D. G. Choi and Y. T. Kim, "A Study on Design of Levitation Controller for Modular Magnetic Levitated Transportation System", Conference on The Korean Institute of Intelligent Systems, Vol. 25, No. 1, pp. 84-85, 2015.
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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