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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.27 no.6, 2017년, pp.295 - 300
양대규 (충남대학교 신소재공학과) , 김양수 (충남대학교 신소재공학과) , 김종헌 (충남대학교 신소재공학과) , 김형도 (충남대학교 신소재공학과) , 김현석 (충남대학교 신소재공학과)
Aluminum-oxide(
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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알루미늄 산화막은 어떠한 재료인가? | 이러한 산화막 중 알루미늄 산화막은 물리적으로나 화학적으로 매우 안정한 산화물로써 절연재, 절삭공구, 전자회로 기판, 의료용 기기 등 넓은 공학 및 산업영역에 응용 가능한 재료이다. 또한 물리적 화학적으로 안정하므로 플라즈마 분위기에서도 식각이 잘 되지 않는 특징을 가지고 있다. | |
알루미늄 산화막이 물리적 화학적으로 안정하기 때문에 얻는 특징은? | 이러한 산화막 중 알루미늄 산화막은 물리적으로나 화학적으로 매우 안정한 산화물로써 절연재, 절삭공구, 전자회로 기판, 의료용 기기 등 넓은 공학 및 산업영역에 응용 가능한 재료이다. 또한 물리적 화학적으로 안정하므로 플라즈마 분위기에서도 식각이 잘 되지 않는 특징을 가지고 있다. 일반적인 특성으로는 알칼리 이온이나 불순물들에 대한 높은 확산 저항성, 비교적 높은 유전율, 높은 열 전달 특성 및 넓은 파장대의 투과성 등이 있다. | |
알루미늄 산화막의 일반적인 특성은 무엇인가? | 또한 물리적 화학적으로 안정하므로 플라즈마 분위기에서도 식각이 잘 되지 않는 특징을 가지고 있다. 일반적인 특성으로는 알칼리 이온이나 불순물들에 대한 높은 확산 저항성, 비교적 높은 유전율, 높은 열 전달 특성 및 넓은 파장대의 투과성 등이 있다.1) 이러한 특성 때문에 알루미늄 산화막은 게이트 절연막으로 또는 DRAM2,3)의 유전 박막으로 이용 될 수 있다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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