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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.17 no.3, 2018년, pp.59 - 64
이일환 (금오공과대학교 대학원) , 노승훈 (금오공과대학교 기계시스템공학과) , 김동욱 (국방과학연구소) , 박인규 (한국로봇융합연구원) , 길사근 (금오공과대학교 대학원) , 김영조 (구미대학교 기계공학과)
In recent years, the solar cell market has steadily grown with the demand for new energies. And wire sawing is one of the most critical processes in manufacturing solar cell wafer which is supposed to affect the breakage of wafers most during the process and afterwards. Generally, the defects of the...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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wire sawing 장비 사용 시, 무엇이 발생하는가? | Fig 1.에 소개된 태양전지 제조공정 중wire sawing 장비는 가공된 ingot을 낱장의 웨이퍼로 절단하는 장비로서 절단 중 진동에 의하여 웨이퍼 면에 wire에 의한 수직응력이 작용함으로써 breakage가 발생하게 된다. | |
wire sawing 장비는 무엇인가? | Fig 1.에 소개된 태양전지 제조공정 중wire sawing 장비는 가공된 ingot을 낱장의 웨이퍼로 절단하는 장비로서 절단 중 진동에 의하여 웨이퍼 면에 wire에 의한 수직응력이 작용함으로써 breakage가 발생하게 된다. | |
본 연구에서는 wire sawing 장비에서 발생할 수 있는 문제를 어떻게 해결하려고 했는가? | 본 연구에서는 태양전지 웨이퍼용 wire saw 지지구조의 간단한 설계 변경으로 장비를 안정화하여 진동을 억제 함으로써 웨이퍼 breakage현상을 억제하고 장비 생산성 향상과 제조원가를 절감시킬 수 있는 방법을[1]제시하고자 한다. |
Ro, S. H., Mechanical Vibrations with Applications, Chaos Book, pp. 22-58, 2013.
Shin, H. B., and Ro, S. H., "Design Alterations of a Squaring & Grinding Machine for the Solar Cell Wafer to Suppress Vibrations", Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 16, pp25-30, 2017.
Ro, S. H., Park, Y. R.," Stability Design of a Laser Cutter for the Strengthened Glass", Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 14, pp.19-25, 2015.
Ro, S. H., "Design Alteration of a Milling Machine Structure for the Improved Stability," Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, Vol. 5, pp. 72-78, 2006.
Cho, H. J., and Ro, S. H., "Effect of Design Parameters on the Variation of Natural Frequencies of the Uniform and the Nonuniform Cantilever Beams," Transactions of the KSME, Vol. 23, pp. 697-708, 1999.
Yi, I. H., and Ro, S. H., "Structural Design of an Ingot Grower of the Semiconductor Wafer for the Stability Improvement", Journal of the Semiconductor & Display Technology, Vol. 16, No. 1, pp. 14-39, 2017.
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