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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.31 no.1, 2018년, pp.50 - 54
김한상 (충북대학교 전자정보대학) , 김성진 (충북대학교 전자정보대학)
In this study, a femtosecond laser pre-annealing technology based on indium zinc oxide (IZO) thin-film transistors (TFTs) was investigated. We demonstrated a stable pre-annealing process to analyze the change in the surface structures of thin-films, and we improved the electrical performance. Furthe...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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비정질 산화물 반도체는 무엇이 있는가? | 현재까지 널리 양산되고 있는 LCD (liquid crystal display) TV에서, a-Si 기반의 TFT가 사용되고 있지만 초대형 고해상도 LCD, OLED 및 차세대 디스플레이용 TFT의 채널의 물질로써 유기물 반도체가 고려되어 왔다. 이러한 소자를 적용한 TFT의 이동도 개선, 장기 신뢰성 확보 등에 많은 연구가 진행 중에 있으며, 차세대 디스플레이의 박막으로 비정질 산화물 반도체인 IZO (indium zinc oxide) [1-3], ZnO (zinc oxide), ZnSnO, ZTO(zinc tin oxide) [4,5], InGaZnO (indium gallium zinc oxide) [6,7]를 이용하고자 하는 연구가 진행되고 있다. 이러한 산화물 반도체는 이동도가 기존의 a-Si이나 유기 반도체보다 높아서 디스플레이 구동 회로집적에 유리하고 고속 구동 회로 구현이 가능하며 저온 진공 공정에서 제작이 수월한 특징을 가지고 있다. | |
TFT란? | 최근 OLED (organic light emitting diode) TV 제품이 출시되면서 OLED가 평판 디스플레이 장치로써 많은 각광을 받고 있다. 이러한 평판 디스플레이 장치에서 TFT (thin-film transistor)는 디스플레이 소자에 상관없이 사용되는 핵심 요소로써 단위 화소의 동작을 제어하여 계조 표현을 하는 데 사용된다. 현재까지 널리 양산되고 있는 LCD (liquid crystal display) TV에서, a-Si 기반의 TFT가 사용되고 있지만 초대형 고해상도 LCD, OLED 및 차세대 디스플레이용 TFT의 채널의 물질로써 유기물 반도체가 고려되어 왔다. | |
진공 증착법의 문제를 해결하는 공정 방식은? | 이 중에서 기존의 펄스레이저 증착법, 스퍼터와 같은 진공 증착법은 높은 유지비와 공정 장비 값이 비싸다는 문제점이 존재한다. 하지만 용액 공정법은 저렴한 가격, 간단한 공정 과정을 거치며 짧은 시간에 높은 성능의 소자를 쉽게 제작할 수 있어서 많이 사용되고 있다 [13-15]. 또한 전자의 이동도 등의 전기적 특성을 향상시키는 방법으로 환경 친화적이고 비접촉 공정으로 기존의 공정을 대체할 수 있는 레이저 어닐링이 사용된다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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