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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.31 no.2, 2018년, pp.85 - 89
장희준 (인천대학교 전기공학과) , 윤한준 (인천대학교 전기공학과) , 이경남 (인천대학교 전기공학과) , 김준동 (인천대학교 전기공학과)
In this study, functional transparent conducting layers were investigated for Si-based photoelectric applications. Double transparent conductive oxide (TCO) films were deposited on a Si substrate in the sequence of indium tin oxide (ITO) followed by aluminum-doped zinc oxide (AZO). First, we observe...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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투명전극이 되기 위한 광 투과율과 전기 전도성 기준은? | 디스플레이에 사용할 수 있는 투명전극을 판단하는 기준은 광 투과율과 전기 전도성이다. 400~800 nm의 가시광선 영역에서 투과율이 80% 이상이어야 하고 비저항이 10 Ω cm 이하여야 한다. 지금까지 이에 가장 적합하다고 판단되는 산화물이 ITO (indium tin oxide)와 AZO (aluminum zinc oxide)이다 [1,2]. | |
ITO의 특징은? | ITO는 3.5~4.3 eV의 큰 밴드 갭을 갖는 N-type 전도성물질로서 가시광선 영역의 빛 파장을 통과시켜 광학적 투명성, 높은 전기 전도도를 가지고 있는 것이 특징이다 [3]. 그러나 ITO는 저온에서 증착을 하는 데어려움이 있고, 산소나 수소의 플라즈마를 이용해 ITO 를 스퍼터링(sputtering) [4-6] 할 때 음이온들 간의 충격으로 인해 ITO의 박막에 손상이 일어나 전기적 특성이 감소하게 된다. | |
AZO의 장점은? | 동시에 저항이 증가하게 되면서 투명전극의 효율이 떨어지게 된다는 문제점을 안고 있다 [7]. AZO는 에너지 밴드 갭이 3.37 eV인 TCO 물질로써 낮은 비저항을 가지고 ITO와 마찬가지로 가시 광선을 잘 통과시킨다. 높은 광학적 특성과 전기 전도도를 가지고 있는 N-type 투명전극과 결합해 높은 효율을 보일 가능성이 매우 큰 우수한 물질이다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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