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NTIS 바로가기마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, v.25 no.4, 2018년, pp.47 - 52
여나은 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) , 조원경 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) , 김두인 (부산대학교 광메카트로닉스연구소) , 정명영 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과)
In this study, the effects of the heat treatment and multi-scale hierarchical structures on the durability of the nano-patterned functional PMMA(Poly(methyl-methacrylate)) film was evaluated. The heat treatments that consisted of high-pressure/high-temperature flat pressing and rapid cooling process...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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나노임프린트 공정의 장점은? | 이러한 나노 패턴은 나노임프린트 공정(Nanoimprint lithography, NIL)을 통해 저렴한 생산 비용으로 대면적화가 용이한 장점이 있다.5) 일반적으로 NIL 공정은 열 나노임프린트 방법(Thermal-NIL)과 UV 임프린트(UV-NIL) 두 가지로 나눠진다. | |
나노 크기의 패턴의 기능은? | 최근 나노기술 연구가 활발함에 따라 나노 크기의 패턴을 이용한 응용분야들에 대한 연구들이 많이 진행되고 있다.1) 나노 크기의 패턴들은 형태, 크기, 배열에 따라 초발수,2-3) 김서림 방지,4) 저반사1) 등 독특한 기능들을 가질 수 있어 실제 생활에 적용하기 위한 응용 연구가 활발히 진행되고 있다. | |
나노임프린트 공정은 어떤 두가지로 나뉘어지는가? | 이러한 나노 패턴은 나노임프린트 공정(Nanoimprint lithography, NIL)을 통해 저렴한 생산 비용으로 대면적화가 용이한 장점이 있다.5) 일반적으로 NIL 공정은 열 나노임프린트 방법(Thermal-NIL)과 UV 임프린트(UV-NIL) 두 가지로 나눠진다. 그 중 열 나노임프린트 방법은 고분자 필름과 패턴이 새겨진 스탬프를 서로 접촉시켜 유리 전이온도(Glass transition temperature, Tg)에서 가열 및 가압을 통해 패턴 성형 후 이형 온도에서 필름과 스탬프를 분리하는 방법으로 모재에 직접 미세 패턴의 성형이 가능하다. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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