[논문]열처리와 복합구조화를 통한 디스플레이용 기능성 고분자 필름의 내구성 향상 연구

여나은; 조원경; 김두인; 정명영

doi:10.6117/kmeps.2018.25.4.047

열처리와 복합구조화를 통한 디스플레이용 기능성 고분자 필름의 내구성 향상 연구
Durability Improvement of Functional Polymer Film by Heat Treatment and Micro/nano Hierarchical Structure for Display Applications 원문보기

마이크로전자 및 패키징 학회지 = Journal of the Microelectronics and Packaging Society, v.25 no.4, 2018년, pp.47 - 52

여나은 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) , 조원경 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과) , 김두인 (부산대학교 광메카트로닉스연구소) , 정명영 (부산대학교 인지메카트로닉스공학과)

초록
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본 연구에서는 디스플레이에 적용되는 기능성 고분자 필름의 나노구조에 의한 기계적 물성 저하 문제를 해결하기 위해 열처리 방법과 멀티스케일 계층구조를 통한 PMMA(Poly(methyl-methacrylate)) 필름의 내구성 향상에 대해 연구하였다. PMMA 필름의 기계적 특성을 향상시키기 위한 열처리 공정은 고온/고압의 자유제적 제어공정과 고온 공정 후 급속히 냉각시키는 공정으로 구성되어 있으며, 열 나노임프린트를 이용하여 스크래치로부터 나노구조를 보호하기 위한 멀티스케일 계층구조를 형성하였다. 연필경도 시험에 의해 발생한 미세구조의 손상에 대한 평가를 위해 표면 형상 변화와 기능성 변화를 평가하였으며, 이를 통하여 열처리와 멀티스케일 계층구조가 스크래치에 의한 정접촉각 감소와 투과율 손실 저감에 효과적임을 확인하였다.

Abstract ▼ AI-Helper

In this study, the effects of the heat treatment and multi-scale hierarchical structures on the durability of the nano-patterned functional PMMA(Poly(methyl-methacrylate)) film was evaluated. The heat treatments that consisted of high-pressure/high-temperature flat pressing and rapid cooling process were employed to improve mechanical property of the PMMA films. Multi-scale hierarchical structures were fabricated by thermal nanoimprint to protect nano-scale structures from the scratch. Examination on surface structures and functionalities such as wetting angle and transmittance revealed that the preopposed heat treatment and multi-scale hierarchical structures are effective to minimize surface damages.

주제어

표/그림 (6)

그림 Fig. 1. Schematic of residual stresses generated by rapid cooling on PMMA film.
그림 Fig. 2. Schematic of overall process of fabrication using nanoimprint lithography and sequence of heat-treatments. (a) flat pressing and rapid cooling processes (b) thermal nanoimprint lithography for nano-cone fabrication, and (c) thermal nanoimprint lithography for multi-scale hierarchical structure.
그림 Fig. 3. SEM images of imprinted films. Top view (a) and side view (b) of the nanostructure. Top view (c) and side view (d) of the multi-scale hierarchical structure.
그림 Fig. 4. SEM images on scratch of imprinted films. (a) the nano-structure, (b) the multiscale hierarchical structure.
그림 Fig. 5. Static contact angle of imprinted films before and after scratching.
그림 Fig. 6. Transmittance loss and amount of decreased transmittance on scratch of imprinted films.

AI 본문요약
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문제 정의

본 논문에서는 디스플레이에 적용되는 나노임프린트로 제작된 기능성 필름의 내구성 향상에 대해 열처리 방법과 마이크로/나노 계층구조의 영향을 연구하였다. 제작된 시편의 연필경도 실험을 통해 스크래치에 대한 미세구조 손상에 대한 평가를 진행하였다.
본 논문에서는 디스플레이에 적용될 수 있는 열 나노 임프린트 공정으로 제작된 저반사 및 발수 특성의 나노 패턴 기능성 고분자 필름의 내구성을 향상시키기 위해, 마이크로/나노 계층구조를 성형하였다. 또한 제작된 미세 구조 필름의 열처리를 통하여 열처리와 계층구조가 내구성에 미치는 영향을 평가하였다.

제안 방법

실험에 사용된 PMMA 필름은 비결정 고분자로 온도 증가에 따른 전체 체적 대비 자유 체적 증가가 큰 물질이다.¹⁶⁾ 따라서 자유 체적 증가로 인한 기능성 저하를 감소시키기 위해 본 연구에서는 급속 냉각 전 고온/고압의 자유체적 제어공정(Flat pressing)을 수행하였다. 이 방법은 가열 공정을 통해 필름 내부의 불규칙한 잔류응력 제거 및 가압을 통해 자유 체적 증가를 제어할 수 있다.
사용된 나노 스탬프는 실리콘 기판에 포토레지스트를 코팅한 후 KrF excimer laser source (KrF Scanner System)를 이용하여 육각형 모양의 패턴들을 일정한 주기로 패터닝 하였다. 그 후 건식 에칭을 진행하여 포물선 모양의 원뿔 패턴을 형성하였다. 이렇게 만들어진 실리콘 스탬프를 니켈을 통해 전주 도금 하였고, 최종적으로 제작된 니켈 스탬프는 패턴 간격 300 nm, 너비 280 nm, 높이 330nm로 일정한 간격을 두고 포물선 모양의 패턴들이 배열되어 있다.
이렇게 만들어진 실리콘 스탬프를 니켈을 통해 전주 도금 하였고, 최종적으로 제작된 니켈 스탬프는 패턴 간격 300 nm, 너비 280 nm, 높이 330nm로 일정한 간격을 두고 포물선 모양의 패턴들이 배열되어 있다. 그리고 스탬프 세척을 위해 산소 분위기에서 플라즈마 세척(50 sccm, 30 W, 1 min)을 통해 전처리 과정을 진행한 후 이형 시 스탬프와 PMMA 필름 간의 접착을 방지하기 위하여 불소계 이형제(MS600, daikin-korea)를 딥 코팅(dip coating) 방식을 사용하여 코팅 하였다.
1이다. 나노구조 스탬프와 마찬가지로 산소분위기 플라즈마를 이용해 전처리 과정을 진행한 후 불소계 이형제(CF-WAF-SM, CEKO)를 코팅하였다.
3(a), (b)는 임프린트 된 나노 구조, (c), (d)는 마이크로/나노 계층구조의 주사전사현미경 이미지를 나타낸 것이다. 나노구조의 경우 성형성 평가를 위해 니켈 스탬프와 성형 된 나노 패턴간의 지름과 육각 배열의 가로 및 세로에서 패턴과 패턴간의 거리를 측정하여 비교하였다. 측정 결과 각각 98.
내스크래치 특성에 대한 열처리의 영향을 평가하기 위해, 제작된 나노구조 시편과 마이크로/나노 계층구조 시편에 대해 열처리를 진행한 후 발수 특성의 변화를 관찰하였다. Fig.
먼저, 나노 패턴이 성형된 필름위에 PDMS 보호 층을 500 rpm으로 10 초, 3000 rpm으로 600 초간 스핀 코팅을 통해 약 8 µm 두께로 보호 층을 코팅한 후 65℃에서 1시간동안 경화시킨다. 다음으로 PDMS 보호 층으로 덥혀있는 나노구조 성형 필름을 마이크로 스탬프를 이용해 온도 135℃, 최대압력 2 MPa에서 120 초 동안 임프린트 한 후, 75℃에서 필름과 스탬프를 이형하였다. 마지막으로 PDMS 보호 층을 제거하여 마이크로/나노 계층구조를 제작하였다.
본 논문에서는 디스플레이에 적용될 수 있는 열 나노 임프린트 공정으로 제작된 저반사 및 발수 특성의 나노 패턴 기능성 고분자 필름의 내구성을 향상시키기 위해, 마이크로/나노 계층구조를 성형하였다. 또한 제작된 미세 구조 필름의 열처리를 통하여 열처리와 계층구조가 내구성에 미치는 영향을 평가하였다. 스크래치 전, 후의 표면의 미세 구조 변화와 정접촉각 변화 및 투과율 손실 측정을 통해 열처리 및 계층구조화가 기계적 물성 향상에 효과적임을 확인하였다.
그 결과 나노 구조의 경우 스크래치로 인해 전면적이 파손되었지만, 마이크로/나노 계층구조의 경우 스크래치 방향에서 마이크로 패턴으로 인해 일부분만이 파손되어 고분자 필름의 기계적 물성이 향상되었음을 확인하였다. 또한, 스크래치 전 후의 정접촉각 변화와 스크래치 후 투과율 손실을 측정하여 열처리 및 표면 구조에 따른 기능성 변화를 평가하였다. 그 결과 열처리를 진행한 시편들의 기능성 저하가 감소하는 것을 확인하였다.
다음으로 PDMS 보호 층으로 덥혀있는 나노구조 성형 필름을 마이크로 스탬프를 이용해 온도 135℃, 최대압력 2 MPa에서 120 초 동안 임프린트 한 후, 75℃에서 필름과 스탬프를 이형하였다. 마지막으로 PDMS 보호 층을 제거하여 마이크로/나노 계층구조를 제작하였다.¹⁸⁾
실험에 사용된 필름은 PMMA으로 T_g= 124℃를 가진다. 먼저, 고온/고압의 플렛프레싱 공정을 위해 평탄한 실리콘 기판과 PMMA 필름을 이용해 임프린트 공정 장비(NIL-60- ss-UV, Obducat)를 사용하여 온도 145℃, 최대압력 4 MPa에서 120 초 동안 가열 및 가압한 후, 이형온도 70℃에서 실리콘 기판과 필름을 분리하였다. 그 후 0℃의 물에 60 초간 급속 냉각시켰다.
사용된 나노 스탬프는 실리콘 기판에 포토레지스트를 코팅한 후 KrF excimer laser source (KrF Scanner System)를 이용하여 육각형 모양의 패턴들을 일정한 주기로 패터닝 하였다. 그 후 건식 에칭을 진행하여 포물선 모양의 원뿔 패턴을 형성하였다.
사용된 마이크로 스탬프는 실리콘 기판에 포토레지스트를 코팅한 뒤 UV 광원을 이용하여 정사각형 패턴들을 일정한 주기로 패터닝 하였다. 최종적으로 제작된 마이크로 패턴의 패턴 간격 32.
스크래치에 대한 나노 구조 및 마이크로 구조의 거동을 알아보기 위해 Fig. 4와 같이 스크래치 후 주사전사현미경 이미지를 측정하였다. 그 결과 마이크로 구조 유무에 따라 패턴의 파손 정도가 상이한 것을 확인 할 수 있다.
성형 및 열처리된 PMMA 필름의 내스크래치성 평가를 위해 Pencil Hardness Tester (WL4400M, Withlab)를 사용하여 ASTM D 3363 방법으로 연필 경도 시험을 진행하였다. 연필경도 시험에 의한 표면 손상을 평가하기 위하여 주사전사현미경(SEM, S-4700, HITACHI)을 이용하여 나노구조 및 마이크로/나노 계층구조의 표면 형상 변화 확인을 통해 구조물의 손상 정도를 확인하였다. 연필경도 시험에 의한 표면손상이 패턴의 기능성에 미치는 영향을 평가하기 위해 접촉각 측정 장비(Phoenix 300 Touch, S.
연필경도 시험에 의한 표면 손상을 평가하기 위하여 주사전사현미경(SEM, S-4700, HITACHI)을 이용하여 나노구조 및 마이크로/나노 계층구조의 표면 형상 변화 확인을 통해 구조물의 손상 정도를 확인하였다. 연필경도 시험에 의한 표면손상이 패턴의 기능성에 미치는 영향을 평가하기 위해 접촉각 측정 장비(Phoenix 300 Touch, S.E.O., Korea)를 이용하여 초순수(deionized water) 5 ml를 표면에 떨어뜨린 후 접촉각 변화를 측정 하였으며, Thin Film Analyzer (F20-EXR, Filmetrics)를 이용하여 가시 광영역 파장 대(400~700 nm)에서 투과율 측정하여 기존 투과율 대비 스크래치에 의한 투과율 감소 비율을 계산함으로써 제작된 필름의 투과율 손실을 평가하였다.¹³⁾
열처리 및 계층구조의 연필경도를 평가하기에 앞서 성형 전 PMMA 필름과 성형 후 PMMA 필름에 연필경도 평가를 진행하였다. 그 결과 3 H에서는 표면에 미세한 표면 긁힘이 발생했고 4 H에서는 표면에서 조금 더 많은 미세한 긁힘 들이 발생하였지만, 5 H에서는 필름 내부까지 손상되는 것을 확인하였다.
본 논문에서는 디스플레이에 적용되는 나노임프린트로 제작된 기능성 필름의 내구성 향상에 대해 열처리 방법과 마이크로/나노 계층구조의 영향을 연구하였다. 제작된 시편의 연필경도 실험을 통해 스크래치에 대한 미세구조 손상에 대한 평가를 진행하였다. 그 결과 나노 구조의 경우 스크래치로 인해 전면적이 파손되었지만, 마이크로/나노 계층구조의 경우 스크래치 방향에서 마이크로 패턴으로 인해 일부분만이 파손되어 고분자 필름의 기계적 물성이 향상되었음을 확인하였다.
6은 성형된 시편의 스크래치 전 후의 가시광선 영역(400~700 nm)에서 측정한 투과율을 통해 투과율 손실 및 최대 투과율 감소량을 나타낸 것이다. 투과율 손실은 스크래치의 수직 방향으로 0.1 mm 간격으로 총 20 포인트의 투과율을 측정하여 합하는 방법으로 진행하였다. 최대 투과율 감소량은 기존 투과율(T_O)에서 연필경도 시험 후 스크래치 중앙에서의 투과율(T_m)을 뺀 값이다.

대상 데이터

¹⁶⁾ 하지만 이러한 급속 냉각은 높은 온도에서 급격한 냉각으로 필름 표면에 자유 체적을 증가 시킬 수 있다. 실험에 사용된 PMMA 필름은 비결정 고분자로 온도 증가에 따른 전체 체적 대비 자유 체적 증가가 큰 물질이다.¹⁶⁾ 따라서 자유 체적 증가로 인한 기능성 저하를 감소시키기 위해 본 연구에서는 급속 냉각 전 고온/고압의 자유체적 제어공정(Flat pressing)을 수행하였다.
2(a)는 플렛 프레싱과 급속 냉각의 열처리 공정을 나타낸 것이다. 실험에 사용된 필름은 PMMA으로 T_g= 124℃를 가진다. 먼저, 고온/고압의 플렛프레싱 공정을 위해 평탄한 실리콘 기판과 PMMA 필름을 이용해 임프린트 공정 장비(NIL-60- ss-UV, Obducat)를 사용하여 온도 145℃, 최대압력 4 MPa에서 120 초 동안 가열 및 가압한 후, 이형온도 70℃에서 실리콘 기판과 필름을 분리하였다.
최종적으로 제작된 마이크로 패턴의 패턴 간격 32.2 µm, 너비 111.8 µm, 높이 50 µm로 육각 배열되어 있으며 패턴의 단위면적당 구조물의 윗면적의 비는 0.1이다.

이론/모형

성형 및 열처리된 PMMA 필름의 내스크래치성 평가를 위해 Pencil Hardness Tester (WL4400M, Withlab)를 사용하여 ASTM D 3363 방법으로 연필 경도 시험을 진행하였다. 연필경도 시험에 의한 표면 손상을 평가하기 위하여 주사전사현미경(SEM, S-4700, HITACHI)을 이용하여 나노구조 및 마이크로/나노 계층구조의 표면 형상 변화 확인을 통해 구조물의 손상 정도를 확인하였다.

성능/효과

이 방법은 가열 공정을 통해 필름 내부의 불규칙한 잔류응력 제거 및 가압을 통해 자유 체적 증가를 제어할 수 있다.¹⁴⁾ 이러한 공정을 통해 열처리를 진행한 나노 구조와 마이크로/나노 계층구조의 기계적 물성이 향상하였음을 알 수 있다. 또한, 스크래치 후 마이크로/나노 계층구조에서 열처리를 하지 않은 시편의 마이크로 구조 높이는 15.
열처리 및 계층구조의 연필경도를 평가하기에 앞서 성형 전 PMMA 필름과 성형 후 PMMA 필름에 연필경도 평가를 진행하였다. 그 결과 3 H에서는 표면에 미세한 표면 긁힘이 발생했고 4 H에서는 표면에서 조금 더 많은 미세한 긁힘 들이 발생하였지만, 5 H에서는 필름 내부까지 손상되는 것을 확인하였다. 따라서 이후 실험은 나노 구조 손상을 상대적으로 평가하기 위해 필름 모재의 손상이 적은 3 H에서 진행하였다.
제작된 시편의 연필경도 실험을 통해 스크래치에 대한 미세구조 손상에 대한 평가를 진행하였다. 그 결과 나노 구조의 경우 스크래치로 인해 전면적이 파손되었지만, 마이크로/나노 계층구조의 경우 스크래치 방향에서 마이크로 패턴으로 인해 일부분만이 파손되어 고분자 필름의 기계적 물성이 향상되었음을 확인하였다. 또한, 스크래치 전 후의 정접촉각 변화와 스크래치 후 투과율 손실을 측정하여 열처리 및 표면 구조에 따른 기능성 변화를 평가하였다.
4와 같이 스크래치 후 주사전사현미경 이미지를 측정하였다. 그 결과 마이크로 구조 유무에 따라 패턴의 파손 정도가 상이한 것을 확인 할 수 있다. 나노 구조의 경우 스크래치 전 면적에서 나노 구조가 파손된 반면, 마이크로/나노 계층구조의 경우 스크래치 방향에서 마이크로 패턴이 존재하는 부분은 마이크로 상단의 나노 구조를 제외하고 모두 존재하였다.
또한, 스크래치 전 후의 정접촉각 변화와 스크래치 후 투과율 손실을 측정하여 열처리 및 표면 구조에 따른 기능성 변화를 평가하였다. 그 결과 열처리를 진행한 시편들의 기능성 저하가 감소하는 것을 확인하였다. 이러한 결과는 고온/고압의 자유체적 제어 공정과 급속 냉각을 통한 표면에 형성된 잔류응력으로 인해 기계적 물성이 향상되어 나타난 결과임을 알 수 있다, 본 연구에서 제안한 열처리 방법 및 계층구조 제작 방법은 향후 복합 패터닝을 이용한 기능성 표면 제작에 및 나노패턴 필름의 응용분야 활용성을 증감시킬 수 있을 것으로 기대된다.
나노 구조의 경우 스크래치 전 면적에서 나노 구조가 파손된 반면, 마이크로/나노 계층구조의 경우 스크래치 방향에서 마이크로 패턴이 존재하는 부분은 마이크로 상단의 나노 구조를 제외하고 모두 존재하였다. 따라서 단일 나노 구조보다 높은 구조적 강성을 가진 마이크로 구조를 이용한 계층구조가 내스크래치 특성 향상에 효과적임을 확인할 수 있다.
이러한 현상은 앞서 언급한 잔류 응력의 영향으로 인한 기계적 물성 향상 및 마이크로 구조를 활용한 물성 향상 결과로 보인다. 따라서 열처리 및 계층구조화가 나노 구조 고분자 필름의 내스크래치 특성 향상에 효과적임을 확인하였다. 본 연구결과는 디스플레이에 적용되는 나노 구조 저반사 필름의 취약한 내스크래치성을 향상시킬 수 있어 관련 응용분야에 응용가능성을 증가시킬 수 있다.
3 µm으로 열처리로 인해 마이크로 패턴의 마모가 감소하였음을 알 수 있다. 또한, 스크래치 전 후의 접촉각 변화에서 나노 구조보다 마이크로/나노 계층구조의 접촉각이 15^o 이상 높은 것을 확인 할 수 있다. 이러한 결과는 마이크로 구조를 활용함으로써 높은 강성뿐만 아니라 접촉각과 같은 기능성 향상에서 효과적임을 알 수 있다.
또한, 스크래치 후 마이크로/나노 계층구조에서 열처리를 하지 않은 시편의 마이크로 구조 높이는 15.8 ± 0.49 µm인 반면, 열처리 한 시편의 마이크로 구조 높이는 17.1 ± 0.3 µm으로 열처리로 인해 마이크로 패턴의 마모가 감소하였음을 알 수 있다.
마이크로/나노 계층구조에 존재하는 나노구조의 경우 마이크로 스탬프에 의해 변형되어 평균 지름이 363 ± 10 µm로 기존 나노 패턴의 지름보다 약 130% 변형된 것을 확인하였다.
마이크로/나노 계층구조의 마이크로 구조 높이는 대략 ~19.7 ± 0.16 µm로 임프린트 시 가해진 압력을 조절함으로써 마이크로 구조물 상부의 나노 구조가 보호되고, 보호 층을 통해 측면의 나노 구조가 보호되어 전 면적에 나노 구조가 존재하는 마이크로/나노 계층구조가 제작되었음을 확인할 수 있다.
또한 제작된 미세 구조 필름의 열처리를 통하여 열처리와 계층구조가 내구성에 미치는 영향을 평가하였다. 스크래치 전, 후의 표면의 미세 구조 변화와 정접촉각 변화 및 투과율 손실 측정을 통해 열처리 및 계층구조화가 기계적 물성 향상에 효과적임을 확인하였다.
5는 제작된 시편에 대해 연필경도 시험 전, 후의 정첩촉각을 측정한 것이다. 열처리를 진행하지 않은 나노 구조의 경우 스크래치 전 112.4^o, 후 95.2^o, 열처리 한 나노 구조의 경우 스크래치 전 114.8^o, 스크래치 후 109.9^o, 열처리를 진행하지 않은 계층구조의 경우 스크래치 전 127^o, 스크래치 후 120^o, 열처리 한 계층구조의 경우 스크래치 전 130.7^o, 스크래치 후 126.5^o로 열처리를 진행한 시편들이 스크래치로 인한 접촉각 변화가 적으며, 열처리 된 마이크로/나노 계층구조 가장 우수한 특성을 보임을 확인 할 수 있다.
또한, 스크래치 전 후의 접촉각 변화에서 나노 구조보다 마이크로/나노 계층구조의 접촉각이 15^o 이상 높은 것을 확인 할 수 있다. 이러한 결과는 마이크로 구조를 활용함으로써 높은 강성뿐만 아니라 접촉각과 같은 기능성 향상에서 효과적임을 알 수 있다.
나노구조의 경우 성형성 평가를 위해 니켈 스탬프와 성형 된 나노 패턴간의 지름과 육각 배열의 가로 및 세로에서 패턴과 패턴간의 거리를 측정하여 비교하였다. 측정 결과 각각 98.1%, 99.3%, 98.0%를 만족함으로 성형된 필름의 성형성이 우수함을 확인할 수 있다.^13,14)
스크래치 중앙에서 투과율 감소가 최대이므로 해당 값을 사용하였다. 측정 결과 열처리를 하지 않은 나노 구조의 경우 투과율 손실 10.0%mm, 최대 투과율 감소량 16.1%, 열처리 한 나노 구조는 투과율 손실 7.7%mm, 최대 투과율 감소량 12.4%, 열처리 하지 않은 마이크로/나노 계층구조의 경우 투과율 손실 9.2%mm, 최대 투과율 감소량 15.5%, 열처리 한 마이크로/나노 계층구조는 투과율 손실 7.1%mm, 최대 투과율 감소량 11.8%로 열처리를 진행한 마이크로/나노 계층구조가 투과율 손실이 및 최대 투과율 감소량이 가장 적은 것을 알 수 있다.

후속연구

단순한 공정으로 인하여 경제적이며 재현성이 매우 높다는 장점이 있어 나노 구조를 대면적으로 성형하기에 적합한 방법으로 알려져 있다.⁶⁾ 이러한 나노 패턴 기능성 필름은 투명한 고분자 필름형태로 제작 가능하여 디스플레이 및 투명한 유리 표면 등 저반사가 요구되는 응용분야에 손쉽게 적용될 수 있다. 예를 들어 TV, 핸드폰과 같은 디스플레이에 적용될 경우 눈부심 현상을 감소시키고 다양한 각도에서 우수한 저반사 효과로 넓은 각도에서 선명한 시야 확보가 가능하다.
따라서 열처리 및 계층구조화가 나노 구조 고분자 필름의 내스크래치 특성 향상에 효과적임을 확인하였다. 본 연구결과는 디스플레이에 적용되는 나노 구조 저반사 필름의 취약한 내스크래치성을 향상시킬 수 있어 관련 응용분야에 응용가능성을 증가시킬 수 있다.
그 결과 열처리를 진행한 시편들의 기능성 저하가 감소하는 것을 확인하였다. 이러한 결과는 고온/고압의 자유체적 제어 공정과 급속 냉각을 통한 표면에 형성된 잔류응력으로 인해 기계적 물성이 향상되어 나타난 결과임을 알 수 있다, 본 연구에서 제안한 열처리 방법 및 계층구조 제작 방법은 향후 복합 패터닝을 이용한 기능성 표면 제작에 및 나노패턴 필름의 응용분야 활용성을 증감시킬 수 있을 것으로 기대된다.

질의응답

핵심어	질문	논문에서 추출한 답변
	나노임프린트 공정의 장점은?	이러한 나노 패턴은 나노임프린트 공정(Nanoimprint lithography, NIL)을 통해 저렴한 생산 비용으로 대면적화가 용이한 장점이 있다.5) 일반적으로 NIL 공정은 열 나노임프린트 방법(Thermal-NIL)과 UV 임프린트(UV-NIL) 두 가지로 나눠진다.
	나노 크기의 패턴의 기능은?	최근 나노기술 연구가 활발함에 따라 나노 크기의 패턴을 이용한 응용분야들에 대한 연구들이 많이 진행되고 있다.1) 나노 크기의 패턴들은 형태, 크기, 배열에 따라 초발수,2-3) 김서림 방지,4) 저반사1) 등 독특한 기능들을 가질 수 있어 실제 생활에 적용하기 위한 응용 연구가 활발히 진행되고 있다.
	나노임프린트 공정은 어떤 두가지로 나뉘어지는가?	이러한 나노 패턴은 나노임프린트 공정(Nanoimprint lithography, NIL)을 통해 저렴한 생산 비용으로 대면적화가 용이한 장점이 있다.5) 일반적으로 NIL 공정은 열 나노임프린트 방법(Thermal-NIL)과 UV 임프린트(UV-NIL) 두 가지로 나눠진다. 그 중 열 나노임프린트 방법은 고분자 필름과 패턴이 새겨진 스탬프를 서로 접촉시켜 유리 전이온도(Glass transition temperature, Tg)에서 가열 및 가압을 통해 패턴 성형 후 이형 온도에서 필름과 스탬프를 분리하는 방법으로 모재에 직접 미세 패턴의 성형이 가능하다.

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저자의 다른 논문 :

표제어: PCR

동의어: Packet Collision Rate

용어 설명 출처 목록 (6)

용어 설명: PCR은 세균 특이성이 있는 primer를 이용하여 적은 수의 세균이 있을지라도 쉽게 검출할 수 있는 유용한 방법이며, 이를 이용하여 구강 내 치면세균막이나 타액에서 직접 세균을 검출할 수 있게 되었다[8].

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