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NTIS 바로가기한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.28 no.4, 2018년, pp.195 - 200
김경민 (위덕대학교 일반대학원 정보전자공학과) , 김정열 (위덕대학교 그린에너지공학부) , 이유기 (위덕대학교 그린에너지공학부) , 최용선 (위덕대학교 일반대학원 정보전자공학과) , 이재성 (위덕대학교 그린에너지공학부) , 이영기 (위덕대학교 그린에너지공학부)
This study investigated the effects of the post annealing temperatures on the electrical and interfacial properties of a metal-semiconductor-metal photodetector(MSM-PD) device. The interdigitate type MSM-PD devices had the structure Al(500 nm) / Ti(200 nm) / poly-Si(500 nm). Structural analyses of t...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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실리콘을 이용한 광검출기의 경우 반도체공정 이용시 장점은? | 또한반도체를 이용한 광학적·전자적 시스템을 통합하여 하나의 칩(chip)으로 구현 가능한 고품질의 제품이 가능할것이다. 이에 실리콘을 이용한 광검출기의 경우 반도체공정을 이용하여 낮은 공정 온도, 단순한 제조과정 및저비용으로 제작할 수 있다는 장점이 있다.1-2,5) 특히, 광검출기의 경우 빛을 전기 신호로 변환하는 센서로서, 입사 광량에 따라 출력되는 전류를 의미하는 분광 감응도(responsivity)는 적용되는 빛의 파장에 따라 달라지는 점을 고려하여 여러 가지 반도체를 이용한 다양한 센서들이연구되고 있다. | |
광 검출기에 이용되는 단결정 실리콘등의 화합물 반도체를 사용했을때 단점은? | 광검출기에 이용되는 대표적인 반도체 재료로는 단결정 실리콘(Si)과 게르마늄(Ge)뿐만 아니라 질화갈륨(GaN),갈륨비소(GaAs) 등의 화합물 반도체를 사용하는 경우가많다.3,10) 그러나 이런 화합물 반도체를 기본으로 하는 광검출기의 특징은 화합물 반도체를 구성하는 재료 자체와 공정 비용의 단가가 높다. 또한 바이오 센서로 사용되기에 1,000 nm 부근의 근적외선보다 더 긴 파장까지감응하는 것이 일반적이기 때문에 광검출기로 사용함에있어서 특정한 파장영역에서만 사용되어야 하는 광검출기 기능으로는 번거로운 측면도 있다. 특히 재료적인 측면과 가격을 고려했을 때, 저비용 대량 생산측면에서 폴리 실리콘(poly-Si)은 실리콘(Si)의 에너지 갭(gap) 크기가 1. | |
폴리 실리콘의 장점은? | 또한 바이오 센서로 사용되기에 1,000 nm 부근의 근적외선보다 더 긴 파장까지감응하는 것이 일반적이기 때문에 광검출기로 사용함에있어서 특정한 파장영역에서만 사용되어야 하는 광검출기 기능으로는 번거로운 측면도 있다. 특히 재료적인 측면과 가격을 고려했을 때, 저비용 대량 생산측면에서 폴리 실리콘(poly-Si)은 실리콘(Si)의 에너지 갭(gap) 크기가 1.1 eV로 같고 재료의 단가가 저렴하다. 그리고 기존에 반도체 공정 과정을 이용하여 μm 단위의 크기로 소형으로 제작할 수 있으며5) 취급하기에 간편할 뿐 아니라 다양한 광검출기를 다량 생산 할 수 있다. 또한 일반적인 실리콘보다 높은 감광성을 포함하며 발수성, 내화성, 산화 안정성, 저온 안정성 및 기체 투과성이 우수하다.5,9,14) |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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