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NTIS 바로가기韓國電磁波學會論文誌 = The journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science, v.29 no.7, 2018년, pp.484 - 490
장광호 (광운대학교 전파공학과) , 박수연 (광운대학교 전파공학과) , 최진주 (광운대학교 전파공학과) , 이동헌
This paper describes an algorithm for calculating load impedance by measuring voltage and current components using a VI sensor in a 13.56 MHz impedance automatic matching system. We propose an algorithm that improves the error rate by using an arbitrary complex calibration load instead of the conven...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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플라즈마는 주로 어디에 사용되는가? | 이러한 플라즈마는 에칭, 확산, 후처리 등에 주로 사용 되고 있으며, 그 수요 또한 급속신장하고 있으나, 국내 반도체 업체들은 미국이나 일본의 장비 업체로부터 전량 수입, 사용하여 반도체 장비 관련 사업의 선진 기술 확보에 어려움이 큰바 고정 주파수 13.56 MHz RF 전원장치 및 자동 정합 시스템의 필요성을 실감하게 되었다[3]. | |
플라즈마의 일반적인 특성은 무엇인가? | 56 MHz RF 전원장치 및 자동 정합 시스템은 반도체 제조 및 건식 코팅 시 전원으로서 챔버 내에 플라즈마를 생성한다. 일반적으로 플라즈마는 고정된 부하와 다르게 상태에 따라서 가변하는 부하의 특성을 갖는다. 그렇기 때문에 가변하는 플라즈마 부하에서 발생 하는 반사파를 줄여줄 자동 정합 회로 및 시스템을 필요로 하게 된다. | |
플라 즈마 임피던스 자동 정합 시스템이 필요한 이유는 무엇인가? | 56 MHz RF 전원장치 및 자동 정합 시스템은 반도체 제조 및 건식 코팅 시 전원으로서 챔버 내에 플라즈마를 생성한다. 일반적으로 플라즈마는 고정된 부하와 다르게 상태에 따라서 가변하는 부하의 특성을 갖는다. 그렇기 때문에 가변하는 플라즈마 부하에서 발생 하는 반사파를 줄여줄 자동 정합 회로 및 시스템을 필요로 하게 된다. 입력 감지기를 통해서 얻어진 부하 조건에 의한 전류와 전압 파형을 감지하여 부하 임피던스를 예측한다. |
L. E. Frenzel, RF Power for Industrial Applications, Pearson Prentice Hall, 2004.
장광호, "13.56 MHz 플라즈마 자동 임피던스 정합 회로구현에 관한 연구," 광운대학교 석사학위논문, 2014년.
최대규, 장우진, "플라즈마 발생 전원장치와 자동정합회로," 한국조명.전기설비학회 추계학술발표회논문집, 1995년 11월, pp. 60-63.
Advanced Energy, "Impedance matching," ENG-WHITE 18-270-02, 2006.
J. de Mingo, A. Valdovinos, A. Crespo. D. Navarro, and P. Garcia, "An RF electronically controlled impedance tuning network matching system," IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques, vol. 52, no. 2, pp. 489-497, Feb. 2004.
J. de Mingo, A. Valdovinos, A. Crespo, D. Navarro, and P. Garcia, "An RF electronically controlled impedance tuning network design and its application to an antenna input impedance automatic matching system," IEEE Transactinos on Microwave Theory and Techniques, vol. 52, no. 2, pp. 489-497, 2004.
Q. Gu, J. R. De Luis, A. S. Morris, and J. Hilbert, "An analytical algorithm for Pi-network impedance tuners," IEEE Transactions on Circuits and Systems I, Regular Papers, vol. 58, no. 12, pp. 2894-2905, Dec. 2011.
최진주, 초고주파 공학, Infinity Books, 2007.
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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