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NTIS 바로가기반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.18 no.2, 2019년, pp.58 - 62
김영광 (과학기술연합대학원대학교 측정과학과) , 이혁교 (과학기술연합대학원대학교 측정과학과) , 김영식 (과학기술연합대학원대학교 측정과학과) , 이윤우 (한국표준과학연구원 첨단측정장비연구소 우주광학팀)
Diffractive Optical Elements(DOEs) diffracts incident light using the diffraction phenomenon of light to generate a desired diffraction image. In recent years, the use of diffraction optics, which can replace existing refractive optical elements with flat plates, has been increased by implementing v...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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전자 빔 (Electron beam)을 이용한 노광법은 어떤 단점이 있는가? | 과학기술의 발전으로 다양한 형태의 패턴으로 구성된 회절광학소자의 사용이 요구되며, 높은 분해능의 선폭을 이용하여 제한된 면적에 많은 정보를 기록이 필요하다. 이를 제작하기 위해 전자 빔 (Electron beam)을 이용한 노광법이 주로 사용되며, 이 방법은 높은 정밀도를 갖지만 장비를 구축하기 위한 비용이 많이 들고, 공정 조건이 복잡하다[6,7]. 반면에 고배율의 노광렌즈를 이용하는 레이저 직접 노광법은 저렴한 공정비용으로 대면적에 패턴을 제작할 수 있어 다양한 회절광학소자의 제작에 많이 사용된다[8-10]. | |
회절광학소자는 어떻게 제작하는가? | 얇은 기판이나 필름 위에 원하는 패턴을 새겨서 제작하는 회절광학소자는 기존의 굴절 광학계에 비해 고성능, 양산성 및 집적화가 용이하기 때문에 소형화가 요구되는 휴대용 영상기기, 헤드 업 디스플레이 (HUD: Head Up Display)와 광 픽업 (Optical pick-up) 장치 등에 응용된다 [1,2]. Fig. | |
회절광학소자는 어디에 응용되는가? | 얇은 기판이나 필름 위에 원하는 패턴을 새겨서 제작하는 회절광학소자는 기존의 굴절 광학계에 비해 고성능, 양산성 및 집적화가 용이하기 때문에 소형화가 요구되는 휴대용 영상기기, 헤드 업 디스플레이 (HUD: Head Up Display)와 광 픽업 (Optical pick-up) 장치 등에 응용된다 [1,2]. Fig. |
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