$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

반도체 공정용 석영유리 현황
Current Status of Quartz Glass for Semiconductor Process 원문보기

세라미스트 = Ceramist, v.22 no.4, 2019년, pp.429 - 451  

김형준 (한국세라믹기술원 엔지니어링세라믹센터)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Quartz glass is a key material for making semiconductor process components because of its purity, low thermal expansion, high UV transmittance and relatively low cost. Domestic quartz glass has a market worth about 500 billion won in 2018, and the market power of Japanese materials is very high. Qua...

주제어

#Quartz glass   #EUV   #Ultra low expansion   #Parts for Semiconductor  

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
고집적 반도체 제조를 위한 국내 기업의 계획은 어떻게 되는가? 반도체 공정에서는 고집적 반도체(1Ynm이하) 제조를 위한 고 순도 고신뢰성 합성 석영유리를 요구하고 있다. 삼성전자는 2018년 전체 60%이상을 18nm 공정을 주력으로 하였고 2019년 1Ynm 비중확대하고 있다. 하이닉스는1Xnm 공정을 2018년 하반기에 본격적으로 양산 적용하고 2019년 주력기술화 하고 있는 것으로 알려져 있다. 마이크론의 경우 2018년 1Xnm 공정 비중이 약 40%였으며,2019년 1Ynm 공급 시작예상으로 알려져 있다(Fig.
석영유리란 무엇인가? 세라믹을 전공한 사람이라면 하나는 결정성 광물이고 하나는 비정질 유리인 것으로 구조에서 특성까지 모두 다르다는 것을 알 것이다. 석영유리는 SiO2로만 이루어진 유리로서, 매우 낮은 열팽창계수(0.5 x 10-6/℃), 높은 자외선 투과율과 화학적 내구성 등으로 반도체 공정에서는 필수적인 소재이다.
10nm 이하 공정으로 바뀌며 공정상에서 새롭게 요구되는 사항은? 위에서 언급한 바와 같이 석영유리를 노광공정에 사용하는 이유는 지금까지는 우수한 자외선 투과율과 낮은 열팽창계수였다. 그러나 10nm 이하 공정으로 바뀌면서 요구되는 노광방식은 반사형으로 바뀌었고 요구하는 물성은 열팽창계수와 표면 연마 상태가 더 중요하게 되었다. 반도체 공정에서 이러한 석영유리에 대한 요구 물성에 대한 변화는 반도체 엔지니어 뿐 아니라 세라미스트들도 고민해 볼 사안이다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (40)

  1. Heraus, Base Materials Brochure (2018) 

  2. Corning Museum of Glass, Innovations in glass, pp. 36-7, Corning, New York : The Corning Museum of Glass 1999 

  3. http://www.tqgj.co.jp/en/aboutus/history/ (2019.8.20.) 

  4. Pamela O'Connor, Lecture note: Physical Properties of Glass 2: Thermal Expansion Coefficient (2015), https://slideplayer.com/user/5417601/ 

  5. https://www.qsil.com/en/material/about-fused-quartz/ (2019.8.20.) 

  6. 무역위원회, 한국세라믹기술원, 스마트유리 산업경쟁력 조사, 무역위원회, 2010 

  7. W. Zulehner, "Czochralski, growth of silicon", J. Crystal Growth, 65[1-3] 189-213 (1983) 

  8. Sujit Nayak, Lecture note; Crystal Growth. (2016.6.30.) https://www.slideshare.net/SujitKumarNayak1/crystal-growth-63620916 

  9. http://www.kkquartz.co.kr/ (2019.8.20.) 

  10. H. Kishi, M. Fukui, and M. Morikawa, US 8,657,957 B2, Method and apparatus for manufacturing fused silica crucible and the fused silica crucible (2014) 

  11. I. Fanderlik, Silica Glass and Its Application, pp. 175-184 Elsevier, Amsterdam, 1991 

  12. Y. Gotoh, S. Satoh, M. Kudoh, EP 1772437 A2, Method and apparatus for manufacturing quartz glass ingot (2007) 

  13. Thomas P. Seward III, Lecture : #18 Silica Glass Processing Part 2, http://www.lehigh.edu/imi 

  14. 무역협회, 국내 수출입현황 자료 분석 (HS 7020001012, 반도체웨이퍼 제조에 사용되는 노용의 석영도가니) 

  15. 한국IR협의회, 기술분석보고서(에스앤에스텍), 2019.3.7 

  16. 한국신용평가, SK실트론(주), 2018.02.07 

  17. KTB 투자증권, In depth; 반도체소재-소재, 2018. 8.17 

  18. https://www.marketsandmarkets.com/Market-Reports/synthetic-quartz-market-239494363.html (2019.8.20.) 

  19. IHS마킷, 종합반도체 시장점유율, 2018. 6. 8 

  20. 신영증권, 2019년 반도체/디스플레이 전망, 2018. 11. 28 

  21. ShinEtsu, Technical Data, "Synthetic Quartz Glass Substrates" https://www.microsi.com/wp-content/uploads/2016/08/Synthetic-Quartz-Glass-DataVIOSIL-SQSX.pdf (2019.8.20.) 

  22. S. Maida and H. Otsuka, USP 8105734 B2, Titania-doped quartz glass member and making method (2012) 

  23. 스테판 오흐스, 크라우스 베커, 한국특허 출원번호 10-2015-0134020, EUV 리소그래피 사용을 위한 고 규산 함량을 가지는 플루오르- 및 티타늄 도핑형 유리 블랭크 의 제조방법 및 이에 따라 제조된 블랭크 (2016) 

  24. Shin-Etsu, Quartz glass Brochure (2018) 

  25. S. Maida and H. Otsuka, USP 9346700 B2, Titaniadoped quartz glass and making method (2016) 

  26. https://www.agc.com/products/electoric/detail/aq.html (2019.8.20.) 

  27. S. Yajima, and H. Jinbo, USP 6018964A, Method for manufacturing quartz glass (2000) 

  28. https://commons.wikimedia.org/wiki/File:Synthetic_silica_glass_ingot_2016_Nikon_Museum.jpg (2019.8.20.) 

  29. http://www.tqgj.co.jp/kr/silicaglass/ (2019.8.20.) 

  30. http://www.coorstek.co.jp/eng/products/detail/detail_28.html (2019.8.20.) 

  31. F. Nurnberg, B. Kuehn, and K. Rollmann, "Metrology of Fused Silica", SPIE Proc. Vol. 10014, Laser-Induced Damage in Optical Materials 2016, (2016. 12.6) 

  32. 스테판 토마스, 클라우드 베커, 한국특허 10-1922765, EUV 리소그래피에서의 사용을 위한 미러 기판용 $TiO_2-SiO_2$ 유리의 블랭크 및 그 생산을 위한 방법 (2018) 

  33. 헤인츠 파비앙, 스테판 토마스, 한국특허 10-1818830, 티타늄-도핑된 합성 석영 유리의 생산방법 (2018) 

  34. Corning, HPFS Product Brochure (2014) 

  35. Corning, ULE $^{(R)}$ Corning Code 7972 Brochure (2018) 

  36. M. S. Dobbins, and R. E. McLay, USP 5,043,002A, Method of making fused silica by decomposing siloxanes (1991) 

  37. Momentive, Electrically fused quartz data sheet (2018) 

  38. Technical Glass Products, INC., Fused Quartz Brochure (2018) 

  39. http://www.kwquartz.com/index_en.html (2019.8.20.) 

  40. http://www.quartzpacific.com/en/about/index.aspx (2019.8.20.) 

관련 콘텐츠

오픈액세스(OA) 유형

GOLD

오픈액세스 학술지에 출판된 논문

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로