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NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.52 no.4, 2019년, pp.227 - 232
김수빈 (성신여자대학교 청정융합과학과) , 윤혜원 (한국생산기술연구원 열처리그룹) , 이한찬 (한국생산기술연구원 열처리그룹) , 문경일 (한국생산기술연구원 열처리그룹) , 홍현선 (성신여자대학교 청정융합과학과)
Mo-N based coatings have been studied for enhancing mechanical characteristics of thin films. In the case of Mo-X-N coatings, the microstructure and mechanical properties can be affected by the addition of the third element. In this work, Mo-Cu-N coatings were successfully fabricated with varying th...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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Mo-N 코팅 막의 특징은? | 현재 기계부품의 물성과 내구성 향상을 위해서 모재 표면에 Ti-N, Cr-N, Mo-N과 같은 전이금속 계 질화물 박막을 증착하고 있다. 특히 Mo-N 코팅 막은 Ti-N, Cr-N과 비교하여 낮은 마찰계수, 높은 경도, 우수한 내 마모 특성 등의 특징을 가진다[1]. 따라서 최근 Mo-N 코팅 막의 제조 방법과 특성 분석에 대한 연구가 국내외에서 진행되고 있다[2-7]. | |
본 논문에서 마그네트론 스퍼터링 방법을 통해 연구를 진행한 결과, 어떠한 특성이 박막에 영향을 미치는가? | 87 nm으로 급격한 표면조도 감소 및 11.1 GPa 으로 경도 감소가 확인되며, 이는 연성특성을 가진 Cu의 증가와 Cu3N상의 형성이 Mo-Cu-N 박막에 영향을 미치는 것으로 볼 수 있다. | |
Mo-Si-N코팅은 Mo-N 코팅에 비해 어떠한 장점을 가지고 있는가? | Mo-Al-N 코팅[8]은 Mo-N 박막의 경도를 향상시 키기 위해 연구되었는데, Mo-Al-N(Al <20 at%)에서 벌크 형태의 Mo-N 보다 약 두 배 이상의 경도 값을 보였다. Mo-C-N코팅[9]과 Mo-Si-N 코팅[10] 또한 Mo-N 박막의 경도를 향상시키기 위해 연구 되었으며, Mo-Si-N코팅은 Mo-N 코팅보다 좋은 부식 특성과 높은 내 산화성을 보였다. Mo-Cu 합금계는 원소 간 고용도가 거의 없기 때문에 코팅 시나노 복합체 형성이 용이하다[11]. |
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