$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

2단계 수열합성을 이용한 ZnO 계층 나노구조 기반 UV 센서 제작
Fabrication of UV Sensor Based on ZnO Hierarchical Nanostructure Using Two-step Hydrothermal Growth 원문보기

Journal of sensor science and technology = 센서학회지, v.29 no.3, 2020년, pp.187 - 193  

우현수 (포항공과대학교 기계공학과) ,  김건휘 (포항공과대학교 기계공학과) ,  김수현 (포항공과대학교 기계공학과) ,  안태창 (국립안동대학교 기계로봇공학과) ,  임근배 (포항공과대학교 기계공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Ultraviolet (UV) sensors are widely applied in industrial and military fields such as environmental monitoring, medicine and astronomy. Zinc oxide (ZnO) is considered as one of the promising materials for UV sensors because of its ease of fabrication, wide bandgap (3.37 eV) and high chemical stabili...

주제어

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

제안 방법

  • 합성용기에 이 용액과 ZnO 시드층 기판과 함께 넣고, 용액의 온도를 90°C 로 약 1 시간 유지하였다. 1 시간 후, 기판을 꺼내 탈이온수로 세척한 다음 오븐에서 10 분간 건조하여 ZnO 나노로드 구조를 제작하였다.
  • 2.2 절에서 서술한 나노꽃 & 나노로드 구조를 순차적으로 합성하여 2가지 종류 1) 나노꽃-로드 (Nanoflower-rod), 2) 나노로드-꽃 (Nanorod-flower) 의 계층 나노구조를 제작하였다.
  • 2.3절에서 서술한 내용과 같이 유리기판 위에 성장한 ZnO 나노구조 기반 UV 센서를 제작해 특성을 분석하였다 (Figs. 4, 5)
  • Fig. 1에서 수열합성으로 제작된 다양한 ZnO 나노구조를 전자 현미경 (High resolution FE-SEM, JEOLJSM-7401F, JEOL Ltd., Japan) 을 이용해 형태를 관찰하였다. Fig.
  • Fig. 4A에서 제작한 ZnO 나노구조 기반 UV 센서의 전류-전압 특성을 분석하였다. 이 그래프는 실온의 공기 중에서 385 nm UV 광에 대한 ZnO 나노구조 별 전극 간 전압에 따른 전류 동작을 보여준다.
  • 이를 통해, ZnO 계층 나노구조를 제작하면 UV 센서 디바이스의 선형특성을 유지한 채, 민감도를 향상시킬 수 있다는 것을 확인할 수 있다[17]. Fig. 4B에서 제작한 ZnO 나노구조 기반 UV 센서의 투과도 특성을 분석하였다. UV 센서의 투과도는 Ultraviolet-visible (UV-Vis) Spectrophotometry (V670, JASCO, Japan) 장비를 이용하여 300-800 nm 의 파장대역에 대해 측정하였다.
  • 2C). SMU 장치의 전극을 UV 센서의 센싱 전극과 연결한 후, 5 V 의 정전압을 인가하고 Time-current 모드로 측정하였다. UV 광원 (S-SUV3385, Skycares, Korea) 은 3 W 출력의 UV-A이며 파장은 385 nm이다 (Fig.
  • 2B). UV 광원을 30 초 간격으로 반복적으로 on/off 하여 광전류 특성을 측정하였다. UV 광원은 UV 센서로부터 약 30 mm 떨어진 위치에서 작동하도록 구성하였다.
  • 본 연구에서 제작한 UV 센서는 UV 광원이 조사되면 광전류가 상승하고, UV 조사가 중지되면 광전류가 감소한다. UV 광원을 on/off 하는 순간에 가장 빠르게 광전류가 변하는 구간의 응답속도를 측정하여 값을 비교하였다. UV 조사에 따른 순간 최대 광전류 증가속도의 경우, 나노꽃 구조는 평균 1 µA/s, 나노로드 구조는 평균 0.
  • UV 센서를 제작하기 위해 ZnO 나노구조가 노출된 면적을 0.5 cm × 1 cm 로 정하여 마스킹하고, 마스킹되지 않은 영역에은 페이스트를 이용해 센싱 전극을 부착하였다 (Fig. 2A).
  • 4B에서 제작한 ZnO 나노구조 기반 UV 센서의 투과도 특성을 분석하였다. UV 센서의 투과도는 Ultraviolet-visible (UV-Vis) Spectrophotometry (V670, JASCO, Japan) 장비를 이용하여 300-800 nm 의 파장대역에 대해 측정하였다. 나노꽃 구조의 경우 약 40-60 % 의 투과도 특성을 보여주었으며, 나노로드 구조는 평균 70 % 의 투과도 특성을 보여주었다.
  • 그래프에서 4가지 종류 (나노꽃 : 노란색, 나노로드 : 파란색, 나노꽃-로드 : 빨간색, 나노로드-꽃 : 남색) 의 ZnO 나노구조에 따른 UV 센서 특성을 표시하였다. UV광을 30 초 노출시킨 뒤, 0 V에서 40 V 까지의 전압범위에서 그에 따른 전류를 측정하였다. ZnO 단일 나노구조에서, 나노꽃 구조는 40 V 에서 약 32.
  • ZnO 나노구조가 시드층 기판위에 형성되었다는 것을 검증하 기 위해 energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS, INCA xsight, Oxford Instruments, United Kingdom) 분석을 수행하였다. Fig.
  • 이 그래프는 실온의 공기 중에서 385 nm UV 광에 대한 ZnO 나노구조 별 전극 간 전압에 따른 전류 동작을 보여준다. 그래프에서 4가지 종류 (나노꽃 : 노란색, 나노로드 : 파란색, 나노꽃-로드 : 빨간색, 나노로드-꽃 : 남색) 의 ZnO 나노구조에 따른 UV 센서 특성을 표시하였다. UV광을 30 초 노출시킨 뒤, 0 V에서 40 V 까지의 전압범위에서 그에 따른 전류를 측정하였다.
  • 계층 나노구조는 단일 나노구조 대비 부피 대 표면적 비가 더욱 증가하고, 그것으로 인해 나노구조 사이 나노정션 (Nanojunction) 의 개수 또한 증가한다[14]. 따라서, 단일 나노구조 대비 우수한 특성을 가지는 ZnO 계층 나노구조를 이용하여 UV 센서를 제작하고 특성을 분석하였다. 그 결과, ZnO 단일 나노구조 기반의 UV 센서 대비 응답성과 광전류 성능이 크게 향상된 것을 확인하였다.
  • ZnO 나노꽃, 나노로드 구조 모두 동일한 주요 반응식을 나타내면서, 다른 형태의 나노구조를 제작할 수 있는 이유는 다음과 같다. 본 연구에서 ZnO 나노구조를 성장시키기 위해2가지의 다른 수열합성을 사용하였다. 수열합성에서 ZnO의 결정형태를 정하는 요소는 크게 용액의 온도와 첨가한 Zn2+ 이온의 농도이다.
  • 본 연구에서는 2가지의 ZnO 나노구조 합성방법 (나노꽃, 나노로드) 을 2단계 연속적으로 수열합성하여 ZnO 계층 나노구조 (Hierarchical nanostructure) 를 제작하였다. 계층 나노구조는 단일 나노구조 대비 부피 대 표면적 비가 더욱 증가하고, 그것으로 인해 나노구조 사이 나노정션 (Nanojunction) 의 개수 또한 증가한다[14].
  • 본 연구에서는 유리기판 위에 다양한 ZnO 나노구조를 형성하여 특성을 관찰하고, 이를 UV 센서로 활용하였다. 스핀코팅과 열처리를 이용해 ZnO 시드층을 기판위에 형성시키고, 2가지 종류 (나노꽃, 나노로드) 의 수열합성을 이용해 ZnO 나노구조를 시드층에 성장시켰다.
  • 2A). 센싱 전극이 부착된 UV 센서의 광전류 특성을 Source/Measurement Unit (SMU, B2902A, KEYSIGHT, USA) 장비를 사용하여 측정 하였다 (Fig. 2C). SMU 장치의 전극을 UV 센서의 센싱 전극과 연결한 후, 5 V 의 정전압을 인가하고 Time-current 모드로 측정하였다.
  • 본 연구에서는 유리기판 위에 다양한 ZnO 나노구조를 형성하여 특성을 관찰하고, 이를 UV 센서로 활용하였다. 스핀코팅과 열처리를 이용해 ZnO 시드층을 기판위에 형성시키고, 2가지 종류 (나노꽃, 나노로드) 의 수열합성을 이용해 ZnO 나노구조를 시드층에 성장시켰다. ZnO 단일 나노구조로 제작한 UV 센서는 광전류 성능과 on/off 응답성이 좋지 않은 결과를 보여주었다.

대상 데이터

  • 0 %) 는 Sigma-Aldrich 에서 구매하였다. N,N-Dimethylformamide (DMF, C3H7NO, Special grade, 99.5 %) 와 Ammonia solution (NH4OH, Special grade, 28.0~30.0 %) 는 삼전화학㈜ 에서 구매하였다. 모든시약은받은 그대로 사용하고 추가 정제없이 사용하였다.
  • Polyvinylpyrrolidone (PVP, Mw ~1,300,000) 와 Hexamethylenetetramine (HMTA, C6H12N4, ACS reagent, 99.0 %) 는 Sigma-Aldrich 에서 구매하였다.
  • SMU 장치의 전극을 UV 센서의 센싱 전극과 연결한 후, 5 V 의 정전압을 인가하고 Time-current 모드로 측정하였다. UV 광원 (S-SUV3385, Skycares, Korea) 은 3 W 출력의 UV-A이며 파장은 385 nm이다 (Fig. 2B). UV 광원을 30 초 간격으로 반복적으로 on/off 하여 광전류 특성을 측정하였다.
  • ZnO 나노꽃 구조는 앞에서 제작한 ZnO 시드층을 합성용액에 담가 수열합성을 이용해 제작하였다 (Fig. 1D, E)[7]. 10 mM 의 ZnCl2를 탈이온수에 녹이고 암모니아수 (NH4OH) 를 5 µL/ mL 의 농도로 첨가하였다.
  • ZnO 나노로드 구조는 2.2.1절에서 제작한 ZnO 시드층을 합성용액에 담가 수열합성을 이용해 제작하였다 (Fig. 1D, E)[8]. 50 mM 의 Zn(NO3)2 와 100 mM 의 HMTA를 탈이온수에 첨가하여 자석교반기로 50° C 에서 1 시간 동안 혼합하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
Si, Ge의 문제점은? 기존 UV 센서 제작에 많이 사용되는 재료에는 Si, Ge 등이 있으며, 에너지 밴드갭이 작은 재료로 분류된다. 이 재료들은 소자의 수명이 짧고, 가시광 영역에서도 반응하기 때문에 별도의 필터가 필요하다는 문제를 가지고 있다. 또한, 열화학적 안정성이 낮아 열적 안정성이 요구되는 산업 및 군사분야에 있어서 한계점이 존재한다.
GaN 계열의 재료들의 특징은? 넓은 밴드갭을 가지는 재료들은 밴드갭보다 낮은 에너지의 빛은 흡수하지 않기 때문에 노이즈가 감소하고, 자외선 외 파장을 막기 위한 필터를 사용하지 않아도 되는 장점들이 존재한다. GaN 계열의 재료들은 반응층의 성장이 어렵고 공정난이도가 높다. 또한, 높은 자외선 흡수 계수로 인해 광손실이 발생하여 장기 수명 측면에서도 한계점이 존재한다.
자외선 (UV) 센서는 최근 어느 분야에 적용되고 있는가? 자외선 (UV) 센서는 최근 환경 모니터링, 광 통신, 의학, 천문학 등의 산업 및 군사 분야에서 다양하게 응용되어 적용되고 있다[1-3]. 기존 UV 센서 제작에 많이 사용되는 재료에는 Si, Ge 등이 있으며, 에너지 밴드갭이 작은 재료로 분류된다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (20)

  1. H. Ohta, and H. Hosono, "Transparent oxide optoelectronics", Mater. Today, Vol. 7, No. 6, pp. 42-51, 2004. 

  2. M. Razeghi, and A. Rogalski, "Semiconductor ultraviolet detectors", J. Appl. Phys., Vol. 79, No. 10, pp. 7433-7473, 1996. 

  3. T. Zhai, X. Fang, M. Liao, X. Xu, H. Zeng, B. Yoshio, and D. Golberg, "A Comprehensive Review of One-Dimensional Metal-Oxide Nanostructure Photodetectors", Sensors, Vol. 9, No. 8, pp. 6504-6529, 2009. 

  4. S. C. Moon, J. S. Lee, K. J. No, S. J. Yang, and S. E. Lee, "A Study on the Material Characteristics of the NiO/ZnO Ultraviolet Sensor Based on Solution Precess", J. Korean Inst. Electr. Electron. Mater. Eng., Vol. 30, No. 8, pp. 508- 513, 2017. 

  5. Z. L. Wang, "Zinc oxide nanostructures: growth, properties and applications", J. Phys. Condens. Matter., Vol. 16, pp. R829-R858, 2004. 

  6. T. H. Moon, M. C. Jeong, W. Lee, and J. M. Myoung, "The fabrication and characterization of ZnO UV detector", Appl. Surf. Sci., Vol. 240, No. 1-4, pp. 280-285, 2005. 

  7. S. Kim, G. H. Kim, H. Woo, T. An, and G. Lim, "Fabrication of a Novel Nanofluidic Device Featuring ZnO Nanochannels", ACS Omega, Vol. 5, No. 7, pp. 3144-3150, 2020. 

  8. G. H. Kim, T. An, and G. Lim, "Bioinspired Structural Colors Fabricated with ZnO Quasi-Ordered Nanostructures", ACS Appl. Mater. Interfaces, Vol. 9, No. 22, pp. 19057-19062, 2017. 

  9. T. Y. Ma, "Effects of Precursor Concentration on the Growth of ZnO Nanorods", Trans. Korean. Inst. Elect. Eng., Vol. 65, No. 11, pp. 1835-1839, 2016. 

  10. I. Y. Y. Bu, and C. C. Yang, "High-performance ZnO nanoflake moisture sensor", Superlattices Microstruct., Vol. 51, No. 6, pp. 745-753, 2012. 

  11. Q. Wan, Q. H. Li, Y. J. Chen, and T. H. Wang, "Fabrication and ethanol sensing characteristics of ZnO nanowire gas sensors", J. Appl. Phys., Vol. 84, No. 18, pp. 3654-3656, 2019. 

  12. S. O. Brien, L. H. K. Koh, and G. M. Crean, "ZnO thin films prepared by a single step sol-gel process", Thin Solid Films, Vol. 516, No. 7, pp. 1391-1395, 2008. 

  13. Y. Zhang, B. Lin, X. Sun, and Z. Fu, "Temperature-dependent photoluminescence of nanocrystalline ZnO thin films grown on Si (100) substrate by the sol-gel process", Appl. Phys. Lett., Vol. 86, No. 13, pp. 131910(1)-131910(3), 2005. 

  14. S. F. Akhtarianfar, A. Khayatian, R. Shakernejad, M A. Kashi, and S. W. Hong, "Improved sensitivity of UV sensors in hierarchically structured arrays of network-loaded ZnO nanorods via optimization techniques". RSC Adv., Vol. 7, No. 51, pp. 32316-32326, 2017. 

  15. M. Guo, P. Diao, X. Wang, and S. Cai, "The effect of hydrothermal growth temperature on preparation and photoelectrochemical performance of ZnO nanorod array films", J. Solid State Chem., Vol. 178, No. 10, pp. 3210-3215, 2005. 

  16. F. Yi, Q. Liao, X. Yan, Z. Bai, Z. Wang, X. Chen, Q. Zhang, Y. Huang, and Y. Zhang, "Simple fabrication of a ZnO nanorod array UV detector with a high performance", Physica E, Vol. 61, pp. 180-184, 2014. 

  17. M. R. Alenezi, S. J. Henley, and S. R. P. Silva, "On-chip Fabrication of High Performance Nanostructured ZnO UV Detectors", Sci. Rep., Vol. 5, pp. 8516(1)-8516(9), 2014. 

  18. S. K. Panda, and C. Jacob, "Preparation of transparent ZnO thin films and their application in UV sensor devices", Solid-State Electron., Vol. 73, pp. 44-50, 2012. 

  19. B. Liu, and H. C. Zeng, "Hydrothermal Synthesis of ZnO Nanorods in the Diameter Regime of 50 nm", J. Am. Chem. Soc., Vol. 125, No. 15, pp. 4430-4431, 2003. 

  20. C. Pacholski, A. Kornowski, and H. Weller, "Self-Assembly of ZnO: From Nanodots to Nanorods", Angew. Chem.-Int. Edit., Vol. 41, No. 7, pp. 1188-1191, 2002. 

저자의 다른 논문 :

관련 콘텐츠

오픈액세스(OA) 유형

GOLD

오픈액세스 학술지에 출판된 논문

이 논문과 함께 이용한 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로