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FIB milling을 이용한 고정밀 다이아몬드공구 제작과 공정에 관한 연구
A study on the fabrication and processing of ultra-precision diamond tools using FIB milling 원문보기

한국금형공학회지 = Journal of the Korea Society of Die & Mold Engineering, v.14 no.2, 2020년, pp.56 - 61  

위은찬 (인덕대학교 융합기계공학과) ,  정성택 (인덕대학교 융합기계공학과) ,  김현정 (인덕대학교 융합기계공학과) ,  송기형 (한국생산기술연구원 IT융합공정그룹) ,  최영재 (한국생산기술연구원 IT융합공정그룹) ,  이주형 (서울과학기술대학교 기계설계로봇공학과) ,  백승엽 (인덕대학교 융합기계공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Recently, research for machining next-generation micro semiconductor processes and micro patterns has been actively conducted. In particular, it is applied to various industrial fields depending on the machining method in the case of FIB (Focused ion beam) milling. In this study, intends to deal wit...

주제어

#FIB milling   #Diamond tool   #Cutting edge width   #Sharpness  

참고문헌 (8)

  1. Chen, S. T., Tsai, M. Y., Lai, Y. C., & Liu, C. C., "Development of a micro diamond grinding tool by compound process", Journal of Materials Processing Technology, 209(10), pp. 4698-4703, 2009. 

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  2. Cheng, J., & Gong, Y. D., "Experimental study on ductile-regime micro-grinding character of soda-lime glass with diamond tool", The International Journal of Advanced Manufacturing Technology, 69(1-4), pp. 147-160, 2013. 

  3. Kawasegi, N., Ozaki, K., Morita, N., Nishimura, K., & Yamaguchi, M., "Development and machining performance of a textured diamond cutting tool fabricated with a focused ion beam and heat treatment", Precision Engineering, 47, pp. 311-320, 2017. 

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  4. Choi, W. K., & Baek, S. Y., "Study on Platinum Coating Depth in Focused Ion Beam Diamond Cutting Tool Milling and Methods for Removing Platinum Layer", Materials, 8(9), pp. 6498-6507, 2015. 

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  5. Baek, S. Y., Choi, W. K., Choi, Y. J., & Lee, E. S., "Controllability Study of Single-Crystal Diamond Cutting Tool Focus Ion Beam Milling with Different Beam Current and Tilting Angle", In Advanced Materials Research (Vol. 1136, pp. 430-434). Trans Tech Publications Ltd, 2016. 

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  6. Baek, S. Y., Chu, J. H., & Jung, S. T., "A Study on Fabrication of Ultra-Precision Diamond Tool and Length Optimization for Improving the Stability", In Key Engineering Materials (Vol. 777, pp. 289-293). Trans Tech Publications Ltd, 2018. 

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  7. Hang-Eun Joe, Eun-Goo Kang, Martin B. G. J., "A Review of State of the Art of Electron Beam and Ion Beam Machining", Journal of the Korean Society for Precision Engineering, 35(3), pp. 241-252, 2018. 

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  8. Orloff, J., Utlaut, M., Swanson, L., & Wagner, A., "High resolution focused ion beams: FIB and its applications", Physics Today, 57(1), pp. 54-55, 2004. 

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