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단결정 다이아몬드공구 제작 기술을 통한 초정밀 미세패턴 가공 연구
Research on ultra-precision fine-pattern machining through single crystal diamond tool fabrication technology 원문보기

한국금형공학회지 = Journal of the Korea Society of Die & Mold Engineering, v.14 no.3, 2020년, pp.63 - 70  

정성택 (인덕대학교 융합기계공학과) ,  송기형 (한국생산기술연구원 IT융합공정그룹) ,  최영재 (한국생산기술연구원 IT융합공정그룹) ,  백승엽 (인덕대학교 융합기계공학과)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

As the consumer market in the VR(virtual reality) and the head-up display industry grows, the demand for 5-axis machines and grooving machines using on a ultra-precision machining increasing. In this paper, ultra-precision diamond tools satisfying the cutting edge width of 500 nm were developed thro...

주제어

#Diamond Tool Geometry   #Focused Ion Beam   #Cutting Edge Width   #Ultra-Precision Machining   #DOE  

참고문헌 (15)

  1. Wildi, T., Kiss, M., & Quack, N., "Diffractive optical elements in single crystal diamond", Optics Letters, 45(13), pp. 3458-3461, 2020. 

    상세보기

  2. Rhee, H. G., & Lee, Y. W., "Improvement of linewidth in laser beam lithographed computer generated hologram", Optics express, 18(2), pp. 1734-1740, 2010. 

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  3. Ghim, Y. S., Rhee, H. G., Davies, A., Yang, H. S., & Lee, Y. W., "3D surface mapping of freeform optics using wavelength scanning lateral shearing interferometry", Optics express, 22(5), pp. 5098-5105, 2014. 

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  4. Kim, C. S., Ahn, S. H., & Jang, D. Y., "Developments in micro/nanoscale fabrication by focused ion beams", Vacuum, 86(8), pp. 1014-1035, 2012. 

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  5. Oh, J. S., Song, C. K., Hwang, J., Shim, J. Y., & Park, C. H., "An ultra-precision lathe for large-area micro-structured roll molds", Journal of the Korean Society for Precision Engineering, 30(12), pp. 1303-1312, 2013. 

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  6. Fedorynenko, D., Kirigaya, R., & Nakao, Y., "Dynamic characteristics of spindle with water-lubricated hydrostatic bearings for ultra-precision machine tools", Precision Engineering, 63, pp. 187-196, 2020. 

    상세보기

  7. Baek, S. Y., & Jang, S. M., "Fabrication of Micro/nanoscale Cutting Tool Geometry of Single Crystal Diamond Tool by Focused Ion Beam", Journal of the Korean Society for Precision Engineering, 31(3), pp. 207-213, 2014. 

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  8. Baek, S. Y., "Design and fabrication of nano-scale single crystal diamond cutting tool by focused ion beam (FIB) milling", In International Conference on Optical and Photonic Engineering (icOPEN 2015) (Vol. 9524, p. 95241R). International Society for Optics and Photonics, 2015, July. 

  9. Baek, S. Y., Choi, W. K., Choi, Y. J., & Lee, E. S., "Controllability study of single-crystal diamond cutting tool focus ion beam milling with different beam current and tilting angle", In Advanced Materials Research (Vol. 1136, pp. 430-434). Trans Tech Publications Ltd, 2016. 

  10. Baek, S. Y., Chu, J. H., & Jung, S. T., "A Study on Fabrication of Ultra-Precision Diamond Tool and Length Optimization for Improving the Stability", In Key Engineering Materials (Vol. 777, pp. 289-293). Trans Tech Publications Ltd, 2018. 

  11. Choi, W. K., & Baek, S. Y., "Study on platinum coating depth in focused ion beam diamond cutting tool milling and methods for removing platinum layer", Materials, 8(9), pp. 6498-6507, 2015. 

    상세보기 crossref

  12. Kang, E. G., "High Voltage Plasma Diode Electron Beam Accelerator and Application to Tool Steel Heat Treatment", Diss. Ph. D. Thesis, Yonsei University, 2017. 

  13. Kang, E. G., Kim, J. S., Lee, S. W., Min, B. K., & Lee, S. J., "Emission characteristics of high-voltage plasma diode cathode for metal surface modification", International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 16(1), pp. 13-19, 2015. 

    상세보기 crossref

  14. Lee, E. S., & Baek, S. Y., "A study on optimum grinding factors for aspheric convex surface micro-lens using design of experiments", International Journal of Machine Tools and Manufacture, 47(3-4), pp. 509-520, 2007. 

    상세보기 crossref

  15. Baek, S. Y., "A study on processing characteristics of plasma etching using photo lithography", Journal of the Korea Society of Die & Mold Engineering, 12(1), pp. 47-51, 2018. 

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