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Pulverization and Densification Behavior of YAG Powder Synthesized by PVA Polymer Solution Method 원문보기

한국재료학회지 = Korean journal of materials research, v.30 no.11, 2020년, pp.573 - 580  

Im, Hyun-Ho (Department of Advanced Materials Science and Engineering, Mokpo National University) ,  Lee, Sang-Jin (Department of Advanced Materials Science and Engineering, Mokpo National University)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

YAG (Yttrium Aluminum Garnet, Y3Al5O12) has excellent plasma resistance and recently has been used as an alternative to Y2O3 as a chamber coating material in the semiconductor process. However, due to the presence of an impurity phase and difficulties in synthesis and densification, many studies on ...

주제어

#YAG   #PVA solution method   #synthesis   #sintering   #microstructure  

AI 본문요약
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제안 방법

  • 56 g/cm3. In order to observe the morphology of the prepared powder and sintered body, a field emission scanning electron microscope (FE-SEM, JSM-7100F, Jeol, Japan) was used. For the sintered body, the microstructure was observed after the surface was polished and then thermally etched.
  • Further, due to the porosity of the particles, it is possible to pulverize them into fine particles through a simple ball milling process, and thus this approach is suitable for manufacturing a dense sintered body by a sintering process. In this study, the effect of the particle size and particle shape of the synthesized YAG powder was estimated by controlling the molecular weight and the amount of added PVA polymer used for YAG synthesis. The densification behavior of the sintered body according to the crushing effect of the synthetic powder was studied by examining the change of microstructure.
  • The crystallization behavior of the gel-type powders according to various processing factors was examined by using an X-ray diffractometer (XRD, SmartLab, Rigaku, Japan) with CuKα radiation.

이론/모형

  • 1. Simultaneous DTA/TG results of precursor gel prepared by PVA (Mw. 146,000 - 186,000) polymer solution method.
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