[논문]TiZrN 코팅의 레이저 침탄에서 탄소 포텐셜에 따른 침입 거동

이병현; 김태우; 홍은표; 김성훈; 이희수

doi:10.6111/jkcgct.2021.31.6.282

TiZrN 코팅의 레이저 침탄에서 탄소 포텐셜에 따른 침입 거동
Penetration behavior by carbon potential in laser-carburized TiZrN coatings 원문보기

한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology, v.31 no.6, 2021년, pp.282 - 286

이병현 (한국산업기술평가관리원) , 김태우 (부산대학교 재료공학과) , 홍은표 (부산대학교 재료공학과) , 김성훈 (부산대학교 재료공학과) , 이희수 (부산대학교 재료공학과)

초록
AI-Helper

Laser-carburized TiZrN 코팅의 침탄 공정에서 탄소 페이스트 두께에 따른 탄소의 침투 깊이 및 압축잔류응력 변화를 탄소 포텐셜 측면으로 비교·고찰하였다. 스크린 프린팅과 스핀 코팅 방법을 이용하여 각각 1.1 mm와 0.4 mm의 두께로 탄소 페이스트를 도포하고, 동일한 레이저 조사 조건에서 레이저 침탄을 실시하였다. 탄소 페이스트가 두꺼워질수록 침탄된 TiZrN 시료의 회절 패턴이 더 저각으로 이동하였으며, 고용체 강화 및 격자 왜곡의 심화를 나타내었다. TEM을 이용한 미세구조 분석에서도 두꺼운 페이스트로부터 침탄된 TiZrN 내 결정질 결함이 증가하고 높은 탄소 농도를 보였으며, 이는 페이스트 두께가 두꺼워질수록 탄소 포텐셜도 높아짐을 의미하였다. XPS depth profile 분석에서도 두꺼운 페이스트를 통해 침탄된 TiZrN 시료에서 높은 탄소 농도 및 탄화물 형성을 보이면서, 탄소 페이스트 두께 조절에 의해 침탄에서 표면 탄소농도와 탄소 포텐셜 증가가 일어남을 나타내었다. 아울러, 탄소 농도의 증가는 표면의 압축잔류응력 증가(3.67 GPa에서 4.58 GPa로)에 기여하였음을 확인하였다.

Abstract ▼ AI-Helper

Penetration depth and compressive residual stress of laser-carburized TiZrN coating by thickness of carbon paste were investigated in terms of carbon potential. The carbon paste was covered with a thickness of 1.1 mm using screen printing, and applied to a thickness of 0.4 mm using spin coating, and laser carburization was performed under the same conditions. As the thickness of carbon paste increased, the diffraction pattern of the laser-carburized TiZrN coating shifted to a lower angle, indicating solid solution strengthening and lattice distortion. For microstructure analysis using TEM, the defects and carbon concentration of the laser-carburized TiZrN coating increased as the carbon paste was thicker. It indicated that the variation of the carbon potential corresponds to the change in the paste thickness. In XPS depth profile analysis, high concentration of carbon and formation of carbide were observed in laser-carburized TiZrN coating with thick carbon paste. It revealed that the carbon concentration on the surface and carbon potential were changed by the thickness control of carbon paste. The compressive residual stress increased from 3.67 GPa to 4.58 GPa by the variation of carbon concentration.

주제어

표/그림 (6)

표 Table 1 Deposition conditions of RF/DC magnetron sputter for TiZrN coatings
표 Table 2 Thickness of paste before carburizing process
그림 Fig. 2. TEM and EDS images of laser-carburized TiZrN coatings: (a) Thin C-TiZrN and (b) Thick C-TiZrN.
그림 Fig. 1. GIXRD patterns of as-deposited and laser-carburized TiZrN coatings with the different paste thickness.
그림 Fig. 3. XPS depth profile of Thin and Thick C-TiZrN coatings: (a) carbon atomic concentration, (b) T 2p spectra, and (c) Zr 3d spectra.
그림 Fig. 4. Compressive stress of (a) as-deposited TiZrN, (b) Thin C-TiZrN, and (c) Thick C-TiZrN coatings.

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