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NTIS 바로가기열처리공학회지 = Journal of the Korean society for heat treatment, v.34 no.5, 2021년, pp.239 - 244
권진욱 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과) , 김민수 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과) , 장태환 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과) , 배문기 (부산대학교 나노융합기술학과) , 김성우 , 김태규 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과)
Following Silicon Carbide, single crystal diamond continues to attract attention as a next-generation semiconductor substrate material. In addition to excellent physical properties, large area and productivity are very important for semiconductor substrate materials. Research on the increase in area...
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