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[국내논문] Al2O3 Free 다성분계 유리의 CF4/O2/Ar 내플라즈마 특성
CF4/O2/Ar Plasma Resistance of Al2O3 Free Multi-components Glasses 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.21 no.3, 2022년, pp.57 - 62  

민경원 (한국세라믹기술원) ,  최재호 (한국세라믹기술원) ,  정윤성 (한국세라믹기술원) ,  임원빈 (한양대학교 신소재공학과) ,  김형준 (한국세라믹기술원)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The plasma resistance of multi-component glasses containing La, Gd, Ti, Zn, Y, Zr, Nb, and Ta was analyzed in this study. The plasma etching was performed via inductively coupled plasma-reactive ion etching (ICP-RIE) using CF4/O2/Ar mixed gas. After the reaction, the glass with a low fluoride sublim...

주제어

#Plasma resistance glass   #Plasma etching   #Chemical reactivity   #Plasma resistant components  

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