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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.36 no.1, 2023년, pp.74 - 80
성기려 (한국세라믹기술원 반도체소재센터) , 조성호 (한국세라믹기술원 반도체소재센터) , 김경호 (한국세라믹기술원 반도체소재센터) , 신윤지 (한국세라믹기술원 반도체소재센터) , 정성민 (한국세라믹기술원 반도체소재센터) , 김태규 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과) , 배시영 (한국세라믹기술원 반도체소재센터)
Gallium oxide (Ga2O3) thin films were grown on c-, a-, m-, r-plane sapphire substrates using a mist chemical vapor deposition system. Various growth temperature range of 400~600℃ was applied for Ga2O3 thin film deposition. Then, several structural properties were characterized such as film th...
M. Higashiwaki, k. Sasaki, A. Kuramata, T. Masui, and S. Yamakoshi, Phys. Status Solidi A, 211, 21 (2014). [DOI: https://doi.org/10.1002/pssa.201330197]?
D. Shinohara and S. Fujita, Jpn. J. Appl. Phys., 47, 7311 (2008). [DOI: https://iopscience.iop.org/1347-4065/47/9R/7311]?
K. Kaneko, H. Kawanowa, H. Ito, and S. Fujita, Jpn. J. Appl. Phys., 51, 020201 (2012). [DOI: https://doi.org/10.1143/JJAP.51.020201]?
Y. Xu, C. Zhang, Y. Cheng, Z. Li, Y. Cheng, Q. Feng, D. Chen, J. Zhang, and Y. Hao, Materials, 12, 3670 (2019). [DOI: https://doi.org/10.3390/ma12223670]?
R. Jinno, K. Kaneko, and S. Fujita, AIP Adv., 10, 115013 (2020). [DOI: https://doi.org/10.1063/5.0020464]?
S. Rafique, L. Han, and H. Zhao, Phys. Status Solidi A, 213, 1002 (2016). [DOI: https://doi.org/10.1002/pssa.201532711]?
K. Akaiwa, K. Ota, T. Sekiyama, T. Abe, T. Shinoe, and K. Ich ino, Phys. Status Solidi A, 217, 1900632 (2020). [DOI: https://doi.org/10.1002/pssa.201900632]?
T. Kawaharamura, Jpn. J. Appl. Phys., 53, 05FF08 (2014). [DOI: https://doi.org/10.7567/JJAP.53.05FF08]?
Y. Xu, Z. An, L. Zhang, Q. Feng, J. Zhang, C. Zhang, and Y. Hao, Optical Materials Express, 8, 2941 (2018). [DOI: https://doi.org/10.1364/OME.8.002941]?
Y. Arata, H. Nishinaka, D. Tahara, and M. Yoshimoto, CrystEngComm, 20, 6236 (2018). [DOI: https://doi.org/10.1039/c8ce011]?
B. Heying, X. H. Wu, S. Keller, Y. Li, D. Kapolnek, B. P. Keller, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett., 68, 643 (1996). [DOI: https://doi.org/10.1063/1.116495]
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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