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[국내논문] 레이저 보조 모듈을 이용한 Si 소재의 절삭조건 및 보정가공에 관한 연구
A Study on Cutting Conditions and Finishing Machining of Si Material Using Laser Assisted Module 원문보기

Design & manufacturing, v.17 no.2, 2023년, pp.15 - 21  

박영덕 (국립한밭대학교 기계소재융합시스템공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this study, a diamond turning machine and a laser-assisted machining module were utilized for the complex combined cutting of aspheric shapes and fine patterns on the surface of high-hardness brittle material, silicon. The analysis of material's form accuracy and corrective machining was conducte...

Keyword

참고문헌 (11)

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