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6자유도 MEMS 관성센서 정적성능 자동 평가 시스템 구현에 관한 연구
A Study on Implementation of Automatic Evaluation System for Static Performance of 6 DOF MEMS Inertial Sensor 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.22 no.3, 2023년, pp.62 - 66  

박지원 (한국기술교육대학교 대학원 메카트로닉스공학과) ,  딘 후사무드 (한국기술교육대학교 대학원 메카트로닉스공학과) ,  이병렬 (한국기술교육대학교 메카트로닉스공학부)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

With the advancement in technology and rapid increase in the demand for microelectromechanical systems (MEMS) based inertial measurement units (IMUs), high-volume production and test system remain a major challenge for the MEMS industry. To compete with the challenging market of Industry 4.0, here w...

주제어

#MEMS   #Inertial sensors   #Test automation   #LabVIEW   #Industry 4   #0  

참고문헌 (18)

  1. E. Mounier, "Future of MEMS: A market &？technologies perspective," in Yole Development, MEMS？Tech Seminar, 2014. 

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  6. F. Iqbal, H. Din, and B. Lee, "Time Efficient Evaluation？of Multi-axis MEMS Gyroscope Using Three-dimensional Test Methodology," Journal of Semiconductor？Technology And Science, vol. 19, pp. 600-607, 2019. 

    상세보기

  7. Z. Jichen, X. Wenyi, C. Jianfa, W. Weijian, and W.？Lingyun, "Dynamic Parameters Test of Micro-Machined？Gyroscope Based on LabVIEW [J]," Computer Measurement & Control, vol. 3, 2013. 

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