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기판온도 및 산소 분위기 가스에 따른 IGZO 투명전도성박막의 구조적 및 전기적 특성
Effect of Substrate Temperature and Oxygen Ambient Gases on the Structural and Electrical Characteristics of IGZO Thin Films 원문보기

반도체디스플레이기술학회지 = Journal of the semiconductor & display technology, v.22 no.3, 2023년, pp.96 - 100  

이종현 (한국기술교육대학교 에너지신소재화학공학부 미래융합공학전공) ,  이규만 (한국기술교육대학교 에너지신소재화학공학부 미래융합공학전공)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

We have investigated the effect of the substrate temperature and oxygen flow rate on the characteristics of IGZO thin films for the TCO (transparent conducting oxide). For this purpose, IGZO thin films were deposited by RF magnetron sputtering at room temperature and 300℃ with various O2 flow...

주제어

#IGZO thin film   #RF-magnetron sputtering   #Substrate temperature   #Oxygen flow rate  

참고문헌 (15)

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  15. Y. S. Jung, J. Y. Seo, D. W. Lee, and D. Y. Jeon, "Influence of DC magnetron sputtering parameters on the？properties of amorphous indium zinc oxide thin film",？Thin Solid Films, 445, pp.63-71(2003). 

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