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[해외논문] Nanoindentation and FEM study of the effect of internal stress on micro/nano mechanical property of thin CNx films

Thin solid films, v.377/378, 2000년, pp.138 - 147  

Bai, Mingwu (Department of Mechanical Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan) ,  Kato, Koji (Department of Mechanical Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan) ,  Umehara, Noritsugu (Department of Mechanical Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan) ,  Miyake, Yoshihiko (Data Storage &)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

AbstractPursuit of ever-increasing storage density has lead to a steady reduction in head-disk separation which requires protective coating as thin and as hard as possible. It has been found that the internal stress affects micro-tribological properties of CNx film. In this study, thin hard CNx over...

주제어

참고문헌 (39)

  1. J. Appl. Phys. Bergman 7811 6709 1995 10.1063/1.360495 

  2. Wear Komvopoulos 200 305 1996 10.1016/S0043-1648(96)07328-0 

  3. J. Vac. Sci. Technol. Maboudian B15 1 1997 10.1116/1.589247 

  4. Thin Solid Film Furtsch 296 177 1997 10.1016/S0040-6090(96)09341-8 

  5. Surf. Coat. Technol. Kato 113 233 1999 10.1016/S0257-8972(99)00006-7 

  6. Philos. Mag. Umemura 74 5 1143 1996 10.1080/01418619608239715 

  7. J. Appl. Phys. Scharf 818 5393 1997 10.1063/1.365562 

  8. Diam. Relat. Mater. Koshinen 5 669 1996 10.1016/0925-9635(95)00382-7 

  9. Surf. Coat. Technol. Combadiere 88 2837 1996 

  10. J. Vac. Sci. Technol. Buckel 6 606 1969 10.1116/1.1315702 

  11. Ohring 401 1992 The Materials Science of Thin Films 

  12. Proc. R. Soc. Lond. Stoney A82 172 1909 10.1098/rspa.1909.0021 

  13. Metall. Trans. Nix A20 2217 1989 10.1007/BF02666659 

  14. Noyan 117 1987 Residual Stress Measurement by X-ray Diffraction and Interpretation 

  15. J. Appl. Phys. Malhotra 79 68 1996 

  16. Thin Solid Films Malhotra 301 45 1997 10.1016/S0040-6090(96)09569-7 

  17. Mat. Res. Symp. Proc. Venkatraman 239 227 1992 10.1557/PROC-239-227 

  18. Surf. Sci. Brennan 152 1 1985 10.1016/0039-6028(85)90118-9 

  19. J. Appl. Phys. Roerner 63 126 1988 10.1063/1.340503 

  20. J. Electron. Mater. Tao 20 819 1991 10.1007/BF02665970 

  21. Mater. Res. Symp. Proc. Venkatraman 239 227 1992 10.1557/PROC-239-227 

  22. Thin Solid Film Vlasov 308-309 168 1997 10.1016/S0040-6090(97)00427-6 

  23. J. Vac. Sci. Technol. Lacerda A15 1970 1997 10.1116/1.580667 

  24. J. Mater. Sci. Evans 19 4 2405 1984 10.1007/BF01058119 

  25. Thin Solid Films Maruyama 299 59 1997 10.1016/S0040-6090(96)09394-7 

  26. Thin Solid Films Gupta 270 391 1995 10.1016/0040-6090(95)06699-3 

  27. J. Nucl. Mater. Satomi 241-243 1138 1997 10.1016/S0022-3115(97)80208-5 

  28. Mater. Res. Symp. Proc. Borer 130 231 1989 10.1557/PROC-130-231 

  29. IEEE Trans. Electron Dev. Mehregany 44 74 1997 10.1109/16.554795 

  30. Mater. Res. Symp. Proc. Tao 239 57 1992 10.1557/PROC-239-57 

  31. Phys. Rev. Ager B43 6491 1991 10.1103/PhysRevB.43.6491 

  32. J. Mater. Res. Tsui 14 2196 1999 10.1557/JMR.1999.0295 

  33. J. Mater. Res. Lo 14 2276 1999 10.1557/JMR.1999.0304 

  34. J. Mater. Res. Sawa 14 2228 1999 10.1557/JMR.1999.0299 

  35. J. Mater. Res. Bobji 14 2259 1999 10.1557/JMR.1999.0302 

  36. Sneddon 450 1951 Fourier Transforms 

  37. J. Mater. Res. Oliver 7 6 1564 1992 10.1557/JMR.1992.1564 

  38. J. Mater. Res. Hay 14 2296 1999 10.1557/JMR.1999.0306 

  39. Thin Solid Films Bai 377-378 138 2000 10.1016/S0040-6090(00)01314-6 

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