[논문]Combination of contour and half-tone masks used in laser ablation

doi:10.1016/S0169-4332(00)00585-7

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[해외논문] Combination of contour and half-tone masks used in laser ablation

Applied surface science, v.168 no.1/4, 2000년, pp.178 - 181

Braun, A. (Corresponding author. Tel.: +49-341-235-2594) , Zimmer, K. (fax: +49-341-235-2595) , Bigl, F. (Institut fü)

Abstract ▼ AI-Helper

AbstractExcimer laser micro-machining has emerged as an important manufacturing process for micro-sized mechanical and optical components. Using the projection mask technique this work presents and evaluates a new type of mask capable of fabricating a variety of micro-structures with an improved surface quality. Details of the experimental procedure and the technical requirements are discussed and examples of machined surfaces are presented.

주제어

참고문헌 (6)

J. Polym. Sci., Polym. Chem. Srinivasan 22 2601 1984 10.1002/pol.1984.170221026

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Appl. Surface Sci. Zimmer 96-98 425 1996 10.1016/0169-4332(95)00498-X

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Appl. Surface Sci. Rubahn 127-129 881 1998 10.1016/S0169-4332(97)00761-7

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A.H. Smith et al., US-Patent No. 5538817 (1996).
J.E. Cronin et al., US-Patent No. 5334467 (1994).
Optics Laser Tech. Gerlach 29 439 1998 10.1016/S0030-3992(97)00049-2

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