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NTIS 바로가기Applied surface science, v.168 no.1/4, 2000년, pp.178 - 181
Braun, A. (Corresponding author. Tel.: +49-341-235-2594) , Zimmer, K. (fax: +49-341-235-2595) , Bigl, F. (Institut fü)
AbstractExcimer laser micro-machining has emerged as an important manufacturing process for micro-sized mechanical and optical components. Using the projection mask technique this work presents and evaluates a new type of mask capable of fabricating a variety of micro-structures with an improved sur...
J. Polym. Sci., Polym. Chem. Srinivasan 22 2601 1984 10.1002/pol.1984.170221026
Appl. Surface Sci. Zimmer 96-98 425 1996 10.1016/0169-4332(95)00498-X
Appl. Surface Sci. Rubahn 127-129 881 1998 10.1016/S0169-4332(97)00761-7
A.H. Smith et al., US-Patent No. 5538817 (1996).
J.E. Cronin et al., US-Patent No. 5334467 (1994).
Optics Laser Tech. Gerlach 29 439 1998 10.1016/S0030-3992(97)00049-2
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