[논문]Single-shot freeform surface profiler

Seo, Yong Bum; Jeong, Hyo Bin; Rhee, Hyug-Gyo; Ghim, Young-Sik; Joo, Ki-Nam

doi:10.1364/oe.380305

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[해외논문] Single-shot freeform surface profiler 원문보기

Optics express, v.28 no.3, 2020년, pp.3401 -

Seo, Yong Bum , Jeong, Hyo Bin , Rhee, Hyug-Gyo , Ghim, Young-Sik , Joo, Ki-Nam

Abstract ▼ AI-Helper

We propose a novel and simple method of single-shot freeform surface profiler based on spatially phase-shifted lateral shearing interferometry. By the adoption of birefringent materials, the laterally shearing waves are simply generated without any bulky and complicated optical components. Moreover, the phase maps that lead to the 3D profile of the freeform surface can be instantly obtained by the spatial phase-shifting technique using a pixelated polarizing camera. The proposed method was theoretically described and verified by measuring several samples in comparison to the measurement results with a well-established stylus probe.

참고문헌 (16)

CIRP Ann. Savio 56 810 2007 10.1016/j.cirp.2007.10.008

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CIRP Ann. Fang 62 823 2013 10.1016/j.cirp.2013.05.003

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Proc. SPIE Knauer 5457 366 2004 10.1117/12.545704
Appl. Opt. Su 49 4404 2010 10.1364/AO.49.004404

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Sci. Rep. Nguyen 9 3157 2019 10.1038/s41598-019-39514-6

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Proc. SPIE Scheiding 8613 86130J 2013 10.1117/12.2001690
Proc. SPIE Chao 7063 706316 2008 10.1117/12.795094
Appl. Opt. Pant 54 10022 2015 10.1364/AO.54.010022

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Appl. Opt. Wyant 12 2057 1973 10.1364/AO.12.002057

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Opt. Express Ghim 22 5098 2014 10.1364/OE.22.005098

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Appl. Opt. Ling 53 7144 2014 10.1364/AO.53.007144

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Proc. SPIE Chanteloup 5252 282 2004 10.1117/12.513739
Proc. SPIE Millerd 5531 304 2004 10.1117/12.560807
Proc. SPIE Millerd 10329 103291G 2017 10.1117/12.2276582
J. Opt. Soc. Am. Southwell 70 998 1980 10.1364/JOSA.70.000998

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J. Korean Phys. Soc. Phuc 70 469 2017 10.3938/jkps.70.469

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