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[해외논문] Single-shot spectrally resolved interferometry for the simultaneous measurement of the thickness and surface profile of multilayer films 원문보기

Optics express, v.29 no.16, 2021년, pp.25524 -   

Ghim, Young-Sik (Advanced Instrumentation Institute) ,  Seo, Yong Bum (Advanced Instrumentation Institute) ,  Joo, Ki-Nam (Chosun University) ,  Rhee, Hyug-Gyo (Advanced Instrumentation Institute)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

We present a single-shot spectrally-resolved interferometry for simultaneously measuring the film thickness and surface profile of each layer of a patterned multilayer film structure. For this purpose, we implemented an achromatic phase shifting method based on the geometric phase using the polariza...

참고문헌 (21)

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  2. Tompkins 2005 

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  21. Proc. SPIE Millerd 5531 304 2004 10.1117/12.560807 

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