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[해외논문] On the Lateral Instability Analysis of MEMS Comb-Drive Electrostatic Transducers 원문보기

Sensors, v.19 no.17, 2019년, pp.3770 -   

Truong, Binh Duc (Faculty of Technology, Natural Sciences and Maritime Sciences, University of South-Eastern Norway, Campus Vestfold, Raveien 215, 3184 Borre, Norway) ,  Le, Cuong Phu (Faculty of Technology, Natural Sciences and Maritime Sciences, University of South-Eastern Norway, Campus Vestfold, Raveien 215, 3184 Borre, Norway) ,  Halvorsen, Einar (Faculty of Technology, Natural Sciences and Maritime Sciences, University of South-Eastern Norway, Campus Vestfold, Raveien 215, 3184 Borre, Norway)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

This paper investigates the lateral pull-in effect of an in-plane overlap-varying transducer. The instability is induced by the translational and rotational displacements. Based on the principle of virtual work, the equilibrium conditions of force and moment in lateral directions are derived. The an...

참고문헌 (24)

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