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NTIS 바로가기ECS transactions, v.25 no.8, 2009년, pp.1199 - 1206
Shimogaki, Yukihiro , Momose, Takeshi , Sugiyama, Masakazu
Supercritical fluid deposition (SCFD) is a hybrid approach that combines the advantages of CVD and liquid-phase deposition. It usually employs supercritical CO2 (scCO2), which can dissolve various precursors and enables deposition at relatively high precursor concentrations. SCFD can provide conform...
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