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Theoretical study on optimization criterion of the triple RESURF lateral power devices via virtual junction concept

Japanese journal of applied physics, v.60 no.3, 2021년, pp.034002 -   

Wang, Haidong ,  Guo, Yufeng ,  Zhang, Jun ,  Zhang, Maolin ,  Chen, Jing

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

AbstractThe triple reduced surface field (T-RESURF) technique allows the drift region to achieve a much higher doping concentration while maintaining its breakdown voltage unaffected. Yet, as a result of the missing design guidance, the optimization of the T-RESURF effect is difficult to be realized...

참고문헌 (30)

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