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NTIS 바로가기Journal of applied physics, v.95 no.11 pt.1, 2004년, pp.6017 - 6020
Fan, Qi Hua (Department of Mechanical Engineering, Center for Mechanical Technology and Automation, University of Aveiro, 3810 Aveiro, Portugal) , Gracio, J. J. (Department of Mechanical Engineering, Center for Mechanical Technology and Automation, University of Aveiro, 3810 Aveiro, Portugal) , Zhou, Li Qin (Department of Materials Science and Engineering, The University of Michigan, Ann Arbor, Michigan 48109)
In the past, computer-aided simulation of sputtering magnetron has been applied mainly to planar cathodes with flat target surfaces. In this work, we have simulated the target erosion profile of a cylindrical rotary magnetron by tracing electron trajectories and predicting ionization distribution. T...
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