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[해외논문] Analysis of Constitution and Characteristics of Lateral Nonuniformity Effects of MOS Devices Using QM-Based Terman Method

IEEE transactions on electron devices, v.54 no.11, 2007년, pp.3064 - 3070  

Lin, Hao-Peng ,  Hwu, Jenn-Gwo

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

The Terman method for extracting interface trap density $D_{\rm it}$ has been used as a direct index of the lateral nonuniformity (LNU) distribution of charges in the dielectric layer of MOS capacitors. However, as dielectric layers become thin, reaching to 2–3 nm, quantum effects...

참고문헌 (18)

  1. Hwu, J. G., Wang, W. S.. Direct indication of lateral nonuniformities of MOS capacitors from the negative equivalent interface trap density based on charge-temperature technique. Applied physics. A, Solids and surfaces, vol.40, no.1, 41-46.

  2. IEDM Tech Dig using qm-based terman method as a direct index of the lateral nonuniformities of charges in the dielectric layer of mos capacitors lin 2006 297 

  3. 10.1109/VLSIT.1999.799348 

  4. Semiconductor Physics and Devices neamen 1997 

  5. Phys Rev Lett atomic hydrogen reactions with pb centers at the (100) interface stathis 1994 10.1103/PhysRevLett.72.2745 72 2745 

  6. Buczko, Ryszard, Pennycook, Stephen J., Pantelides, Sokrates T.. Bonding Arrangements at the $ \mathrm{Si}-\mathrm{SiO}_{2}$ and $ \mathrm{SiC}-\mathrm{SiO}_{2}$ Interfaces and a Possible Origin of their Contrasting Properties. Physical review letters, vol.84, no.5, 943-946.

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  8. 10.1109/RELPHY.1994.307841 

  9. 10.1109/RELPHY.1996.492067 

  10. Ando, Tsuneya, Fowler, Alan B., Stern, Frank. Electronic properties of two-dimensional systems. Reviews of modern physics, vol.54, no.2, 437-672.

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  18. MOS (Metal Oxide Semiconductor) Physics and Technology nicollian 1982 

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