[논문]超純水と機能水

山中 弘次

doi:10.2116/bunsekikagaku.59.265

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超純水と機能水
Ultra Pure Water and Functionalized Ultra Pure Water 원문보기

分析化學 = Japan analyst, v.59 no.4, 2010년, pp.265 - 272

山中弘次 (オルガノ株式会)

Abstract ▼ AI-Helper

The definition, property, application fields and purification facilities of ultra-pure water are first overviewed based on recent achievements in the technologies of water recycling and reductions in chemical consumption. Then, an ion-adsorption filter for removing ppt levels of ionic impurities from ultra-pure water, and functionalized ultra-pure water for precision cleaning in the fields of semiconductor and flat-panel displays are described as recent achievements in ultra-pure water technology.

주제어

참고문헌 (12)

1) ITRS (International Technology Roadmap of Semiconductor), <http://www.itrs.net/Links/2008ITRS/Update/2008Tables_CROSSCUT.xls>.
2) 久保田昌治 : "超純水の科？",第4章超純水の物性,半導？基板技術？究？編,44 (1990), (リアライズ社).
3) R. K. Iler : "Chemistry of Silica : Solubility, Polymerization, Colloid and Surface Properties and Biochemistry", p. 3 (1979), (Wiley-Interscience).
4) オルガノ株式？社超純水編集委員？編 : "超純水",p. 1 (1991).
0385-1036 KOIZUMI YOSUKE 28 2 95 2003 10.5360/membrane.28.95

상세보기
6) 川田和彦 : ウルトラクリ？ンテクノロジ？,13, 57 (2003).
7) 山中弘次,？木秀充 : クリ？ンテクノロジ？,8, 11 (1998).
8) 川田和彦 : 電子ジャ？ナル,125, 98 (2004).
9) ？木秀充,山崎進也,宇佐見達矢,？砥なほみ : 第45回？用物理？？係連合講演？予稿集,874 (1998).
10) H. Aoki, S. Yamasaki, T. Usami, Y. Tsuchiya, N. Ito, T. Onodera, Y. Hayashi, K. Ueno, H. Gomi, N. Aoto : Proceedings of IEDM97, 777 (1997).
11) M. Imai, Y. Yamashita, T. Futatsuki, M. Shiohara, S. Kondo, S. Saito : Jpn. J. Appl. Phys., 04C023, 48 (2009).
12) 今岡孝之,小島泉里,久保和樹,森田博志,大見忠弘,三森健一,？義烈,笠間泰彦,吉？道雄,山中弘次,加藤正行,都田昌之 : 信？技報,8, 1 (1995).

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